技术编号：4988853
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及对废气的处理系统，尤其是一种对在多晶硅生产中所产生的酸性 废气的二级处理净化装置。背景技术随着光伏产业的繁荣发展，越来越多的中小型企业开始对晶体硅材料进行加工与 处理，而大多数的企业在对硅料进行腐蚀时大多数的都是采用硝酸、氢氟酸和盐酸的混合 液进行产品腐蚀，从而就会产生主要成份为氮氧化物、少量的氟化氢气体、少量的氯化氢气 体和氯氢硅烷的挥发性气体，并且所产生的酸性气体的初始浓度都在150mg/m3以上。而根 据《大气污染物综合排放标准》的要求...
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