一种废气处理净化装置的制作方法

文档序号:4988853阅读:331来源:国知局
专利名称:一种废气处理净化装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及对废气的处理系统,尤其是一种对在多晶硅生产中所产生的酸性 废气的二级处理净化装置。
背景技术
随着光伏产业的繁荣发展,越来越多的中小型企业开始对晶体硅材料进行加工与 处理,而大多数的企业在对硅料进行腐蚀时大多数的都是采用硝酸、氢氟酸和盐酸的混合 液进行产品腐蚀,从而就会产生主要成份为氮氧化物、少量的氟化氢气体、少量的氯化氢气 体和氯氢硅烷的挥发性气体,并且所产生的酸性气体的初始浓度都在150mg/m3以上。而根 据《大气污染物综合排放标准》的要求,当排气筒高度为30m时,二级排放标准NOx的最高 允许排放浓度为M0mg/m3,最高允许排放速率为4. 4kg/h ;二级排放标准HF的最高允许排 放浓度为9mg/m3,最高允许排放速率为0. 59kg/h ;二级排放标准HCL的最高允许排放浓度 为100mg/m3,最高允许排放速率为1.4kg/h,因此,处理净化后废气的排放浓度分别为N0X < 240mg/m3、HF < 9mg/m3、HCL < 100mg/m3。目前,为了达到这一标准要求,市场上对此类酸性气体的处理方式是经过一级湿 式净化处理或其他简单的废气处理方式,但是,由于在生产过程中所产生的大量的氮氧化 物、氟化氢气体以及氯化氢气体的特征表现为爆发性、间歇性的,而且浓度较高,所以简单 的废气处理方式无法真正的对废气进行完善全面的处理。

实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单、净化废气效率高、最终废气 排放浓度小的废气二级处理净化装置。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种废气处理净化装置,包括 一级净化塔、二级净化塔以及能够将气体从一级净化塔压入到二级净化塔内的风机,所述 的一级净化塔通过管道连接风机的进气口,所述的二级净化塔通过管道与风机的出气口相 连接,所述的一级净化塔和二级净化塔的进口处均设置有网状过滤器。本实用新型的有益效果是,解决了背景技术中存在的缺陷,采用二级净化处理的 方式,能够将工业生产中所产生的酸性废气更进一步的进行净化处理,使得最后所排出的 废水废气能够达到大气排放的标准。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。


图1是本实用新型的优选实施例的结构示意图;图中1、一级净化塔;11、脱液装置;2、二级净化塔;21、脱雾装置;3、风机;31、风
量调节阀;4、网状过滤器。
具体实施方式
现在结合附图和优选实施例对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简 化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关 的构成。如
图1所示的一种废气二级处理净化装置,包括一级净化塔1、二级净化塔2以及 能够将气体从一级净化塔1压入到二级净化塔2内的风机3,所述的一级净化塔1通过管道 连接风机3的进气口,所述的二级净化塔2通过管道与风机3的出气口相连接。本实用新型所述的风机3为玻璃钢离心式风机,风机3由变频电机驱动工作,风机 3内具有由碳素钢为骨架的叶轮,风机3的出气口设置有风量调节阀31用以调节风机3风 量的大小。所述的风机3数量设置为两台,一台正常使用,另一台作为备用风机3,以根据运 行情况定期切换运行或故障切换运行。本实用新型所述的一级净化塔1和二级净化塔2内都设置有耐腐蚀循环水泵、喷 淋装置和过滤填料装置,所述的一级净化塔1的出口处设置有脱液装置11,二级净化塔2的 出口处设置有脱雾装置21。本实用新型为了保证喷淋装置的正常运行,在循环水泵入口设置了网状过滤器4, 以防杂物进入损坏水泵和堵塞喷嘴,影响使用。喷头材质为增强聚丙烯,经一次注塑成型, 强度高、使用寿命长。本实用新型的净化原理为酸性废气由风机3吸入一级净化塔1内,废气由塔内的 导流分布装置分布后,与吸收溶液逆向直接交叉接触处理,然后进入内筒填料区域进行多 次液相反应多次填料过滤,使废气在塔内有较长的时间进行充分过滤接触,产生液膜及喷 淋发生传质反应,确保达标排放。含酸废气经一级净化塔1充分吸收净化后,并经过在塔出 口处设置的脱液装置11,脱除系统中的水雾后,由风机3压入二级净化塔2,在塔内酸性废 气与吸收液再次经多层喷淋吸收和多层填料拦截吸收处理,确保达标排放,最后经塔出口 处设置的脱雾装置21除雾后经排放筒排放大气。废水经管道排入污水处理站,集中处理。以上说明书中描述的只是本实用新型的具体实施方式
,各种举例说明不对本实用 新型的实质内容构成限制,所属技术领域的普通技术人员在阅读了说明书后可以对以前所 述的具体实施方式
做修改或变形,而不背离实用新型的实质和范围。
权利要求1. 一种废气处理净化装置,其特征在于包括一级净化塔(1)、二级净化塔O)以及能 够将气体从一级净化塔(1)压入到二级净化塔( 内的风机(3),所述的一级净化塔(1)通 过管道连接风机⑶的进气口,所述的二级净化塔⑵通过管道与风机⑶的出气口相连 接,所述的一级净化塔(1)和二级净化塔O)的进口处均设置有网状过滤器G)。
专利摘要本实用新型涉及一种废气处理净化装置,包括一级净化塔、二级净化塔以及能够将气体从一级净化塔压入到二级净化塔内的风机,所述的一级净化塔通过管道连接风机的进气口,所述的二级净化塔通过管道与风机的出气口相连接,所述的一级净化塔和二级净化塔的进口处均设置有网状过滤器。本实用新型采用二级净化处理的方式,能够将工业生产中所产生的酸性废气更进一步的进行净化处理,使得最后所排出的废水废气能够达到大气排放的标准。
文档编号B01D53/78GK201921624SQ20102065707
公开日2011年8月10日 申请日期2010年12月14日 优先权日2010年12月14日
发明者蒋皓 申请人:江苏恩菲防腐设备有限公司
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