技术编号:4990053
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种钼族金属负载催化剂,其被应用于发电站用水及半导体制造等中的精密加工洗涤用水,用以去除超纯水中的过氧化氢、溶解氧之类的氧化性物质。背景技术已知发电站中使用的用水中的溶解氧会引起配管、热交换器等构件的腐蚀,尤其是在原子力发电站的一次系统及二次系统中,需要尽可能地减少溶解氧。另外,在半导体制造产业中,使用经高度去除杂质后的超纯水进行硅晶圆的洗涤等。通常,利用下述方法制造超纯水并将该制造的超纯水供给到进行晶圆洗涤的使用点,所述制造超纯水的方法包括在前...
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