技术编号:4999595
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种精馏分离装置,具体涉及一种采用工业级液氨,用精馏分离可以连续生产6. 4N电子级超纯氨的装置。背景技术超纯氨是半导体工业中重要的电子气体,在半导体生产工艺中,氨(NH3)同硅烷 (SiH4) 一起发生反应生成氮化硅膜;在MOCVD设备上,氨同三甲基镓作用在蓝宝石上通过汽相生长形成氮化镓发光二极管,即LED。随着科技的发展和社会对于电子产品、新型节能照明器件、清洁能源的需求日益增大,对于超纯氨的纯度要求也越来越高。例如,在生产高亮度的LED...
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