技术编号：5001101
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅定向凝固炉生产，进一步是多晶硅定向凝固炉真空系统抽气管道，尤其是多晶硅定向凝固炉真空系统抽气管道的过滤器。背景技术现有的多晶硅锭定向凝固炉，通过真空泵系统(包括一个罗茨泵和机械前级泵)运行前将炉腔抽成真空状态。抽气过程中炉腔内的石墨粉和其它固体颗粒杂质将随着抽气管道抽到真空泵中，特别是在快速抽气时(此时Vl阀打开)。真空泵机组是滑阀泵，利用润滑油密封的，如果从炉腔内抽出的杂质直接进入真空泵中，会造成真空油的污染，导致泵内机械部件的磨损使...
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