专利名称：多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及多晶硅定向凝固炉生产技术领域，进一步是多晶硅定向凝固炉真空系统抽气管道，尤其是多晶硅定向凝固炉真空系统抽气管道的过滤器。
背景技术：
现有的多晶硅锭定向凝固炉，通过真空泵系统(包括一个罗茨泵和机械前级泵)运行前将炉腔抽成真空状态。抽气过程中炉腔内的石墨粉和其它固体颗粒杂质将随着抽气管道抽到真空泵中，特别是在快速抽气时(此时Vl阀打开)。真空泵机组是滑阀泵，利用润滑油密封的，如果从炉腔内抽出的杂质直接进入真空泵中，会造成真空油的污染，导致泵内机械部件的磨损使真空泵漏油或出现真空泵停机故障。这样以来会造成真空油更换频繁和生产事故，大大降低真空泵机组的使用寿命，所以在抽气管道中间增加一个过滤固体颗粒杂质的过滤器显得非常重要。
发明内容本实用新型的目的是提供一种多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，它可克服现有技术的缺陷，可将杂质挡在滤网的一侧，定期清理，确保真空泵设备正常运行；还可以更换，方便快捷；从而有效地延长真空泵设备的使用寿命，降低生产成本。本实用新型的目的是通过以下方案实现的多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，其特征在于在抽气管道中间设置可过滤固体颗粒杂质的过滤器。本实用新型还可通过以下方案进一步实现所述过滤器的结构是过滤器容筒的中间设置有滤网，过滤器容筒的一端密封，另一端设置开口及活动封盖；便于打开活动封盖清理固体颗粒。进口与出口分别设置于不同端面与滤网间，滤网可将从炉体中抽出的固体颗粒杂质挡在滤网的一侧。所述过滤器的滤网为可拆卸结构。所述过滤器与抽气管道通过法兰及卡扣连接。所述过滤器进出口管径与抽气管道内径相同。所述过滤器内的滤网为100 — 300目。其中，优选为150 — 250目。本实用新型的有益效果是在原有的抽气管道上中间增加一个过滤器，抽真空和真空模式运行时，可将从炉体内抽出的石墨粉和固体颗粒杂质，通过过滤器过滤留在过滤器中，过滤器一端部有开口及密封盖，方便清理赃物和更换滤网。这样就能减少炉体内抽出的赃物对真空泵油的污染，从而减小对真空泵机组的损坏，提高真空泵及真空泵油的使用寿命，降低生产成本。
图1为本实用新型抽气管道线路示意图。[0014]图中1为真空泵机组，2为过滤器，21为滤网，22为活动封盖，3为大抽气阀，4为炉腔，5为抽气管道。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，并使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。实施例如图1所示，真空泵机组1 (包含机械泵和罗茨泵)通过抽气管道5连接多晶硅锭定向凝固炉炉腔4，在抽气管道5上设有大排气阀(VI阀)(快速抽气和真空模式运行时打开)3，抽气管道中间加装一个过滤器2，过滤器2的两端通过法兰与抽气管道5连接，过滤器2中间的滤网21可将从炉体中抽出的固体颗粒杂质挡在滤网的左侧；过滤器2的左端设置开口及活动封盖22，通过打开活动封盖22，可方便地清理固体颗粒杂质和更换滤网。以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，其特征在于在抽气管道中间设置可过滤固体颗粒杂质的过滤器。
2.根据权利要求1所述的多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，其特征在于过滤器的结构是过滤器容筒的中间设置有滤网，过滤器容筒的一端密封，另一端设置开口及活动封盖；进口与出口分别设置于不同端面与滤网间，滤网可将从炉体中抽出的固体颗粒杂质挡在滤网的一侧。
3.根据权利要求1或2所述的多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，其特征在于过滤器的滤网为可拆卸结构。
4.根据权利要求1或2所述的多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，其特征在于过滤器与抽气管道通过法兰及卡扣连接。
5.根据权利要求1或2所述的多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，其特征在于过滤器进出口管径与抽气管道内径相同。
6.根据权利要求1或2所述的多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，其特征在于过滤器内的滤网为100 — 300目。
专利摘要本实用新型公开了一种多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，涉及多晶硅定向凝固炉真空系统抽气管道，在抽气管道中间设置可过滤固体颗粒杂质的过滤器。所述过滤器的结构是过滤器容筒的中间设置有滤网，过滤器容筒的一端密封，另一端设置开口及活动封盖；进口与出口分别设置于不同端面与滤网间，滤网可将从炉体中抽出的固体颗粒杂质挡在滤网的一侧。本实用新型的有益效果是抽真空和真空模式运行时，可将从炉体内抽出的石墨粉和固体颗粒杂质通过过滤器，过滤留在过滤器中，过滤器一端有开口，方便清理赃物和更换滤网。这样就能减少炉体内抽搐的赃物对真空泵油的污染，从而减小对真空泵机组的损坏，提高真空泵及真空泵油的使用寿命，降低生产成本。
文档编号B01D46/00GK202044856SQ201120126239
公开日2011年11月23日 申请日期2011年4月26日 优先权日2011年4月26日
发明者刘瑞柱, 印亚峰, 熊涛涛 申请人:安阳市凤凰光伏科技有限公司