技术编号:5016989
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总的涉及气密接口组件(hermetic porting assembly),特别是(但不是排他的)用作微型工艺学的反应器的构件,本发明还涉及制造它们的方法。特别关注采用玻璃对金属的压缩密封结构的组件,这种密封结构与依靠热膨胀系数紧密匹配的密封结构不同。背景技术 近年来,有关微型构造构件的热和化学工艺学领域的活动极快地增加。与传统的宏观反应器相比,微型反应器、微型射流系统、微型电路或者其它类型的微型结构的沟槽的内部尺寸在毫米至微米范围内。希望具有高的表...
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