技术编号：5022477
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及药液的配制，特别涉及一种可提高药液配制效率的药液配制装 置以及配制方法。背景技木在半导体制造领域，在通过光刻工序将光罩上的图形转移到光阻上后，需 使用显影液将该图形显影出来，为确保显影工序的正常进行，需定时的更换显影液，故半导体制造企业对显影液的需求就很大， 一条8寸的半导体生产线一 天的显影液用量(浓度为2. 37%)就可达到8000升。但是，原材料供应商通常不提供浓度为2. 37。/。的显影液，而提供浓度为25% 的原液。该浓度为25%的原液...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。