专利名称：一种可提高药液配制效率的药液配制装置以及配制方法
技术领域：
本发明涉及药液的配制，特别涉及一种可提高药液配制效率的药液配制装 置以及配制方法。背景技木在半导体制造领域，在通过光刻工序将光罩上的图形转移到光阻上后，需 使用显影液将该图形显影出来，为确保显影工序的正常进行，需定时的更换显影液，故半导体制造企业对显影液的需求就很大， 一条8寸的半导体生产线一 天的显影液用量(浓度为2. 37%)就可达到8000升。但是，原材料供应商通常不提供浓度为2. 37。/。的显影液，而提供浓度为25% 的原液。该浓度为25%的原液浓度范围为24. 9%-25. 3%，且其装在容量为200升 的原液桶中。半导体制造商需将该浓度为25%的原液稀释为浓度为2. 37%的显影 液。该浓度为2. 37%的显影液的容许误差范围为2. 367-2. 373%。参见
图1，现有的用于配制浓度为2. 37%的显影液的药液配制装置1通常包 括容积为3000升的原液槽10、容积为1500升的药液配制槽11、用于向药液配 制槽11供水的供水单元12、用于将原液桶(未图示)中的原液驱动至原液槽 10中的第一驱动装置13、用于将原液槽10中的原液驱动至药液配制槽11的第 二驱动装置14、 一用于存储目标浓度和目标体积的存储单元15、 一设置在药液 配制槽11中用于侦测显影液浓度的浓度检测单元16和一控制模块17，所述控 制模块17根据存储单元15和浓度检测单元16的数据，控制供水单元l2和第 二驱动装置14向药液配制槽中添加水和原液以形成目标浓度的显影液。上述原液槽10中还设置有用于搅拌原液的第一搅拌装置100，药液配制槽 11中还设置有用于搅拌药液的第二搅拌装置110，第二驱动装置14存在着0.15 克的误差。在进行显影液配制前，先通过第一驱动装置13将原液桶中的原液驱动至原液槽10，然后通过以下步骤来配置浓度为2. 37%的显影液首先控制才莫块17控 制第二驱动装置14和供水单元12驱动142. 4千克的原液和1357. 6千克的水至 药液配制槽11中；此时由于第二驱动装置14存在着0. 15克的误差，再加上显 影原液浓度范围为24. 90%-25. 30%，如此相叠加药液浓度误差达到0.040%,超 过了浓度为2. 37%的显影液的误差范围0.010%，如此4艮难一次即配制出浓度在 2. 367-2. 373%客许范围内的溶液。在通过第二搅拌装置110使药液配制槽11中的药液混合均匀后，再通过浓 度检测单元16检测药液配制槽中的显影液浓度；如果检测到显影液浓度超出上 述2. 367-2. 373%的容许误差范围时，由控制^f莫块17控制第二驱动装置14或供 水单元12驱动原液或水至药液配制槽11中，直到浓度检测单元16检测到药液 配制槽11中显影液的浓度在2. 367-2. 373%范围内为止。上述溶液配制方法因原液桶上无原材料供应商提供的原液浓度，如此就无 法得知原液槽中原液的准确浓度，故4艮难通过一次配制就得到目标浓度和目标 体积的药液，需多次启停驱动装置，大大降低驱动装置的使用寿命，另外也致 使配制用时过长。发明内容本发明的國的在于提供一种可提高药液配制效率的药液配制装置以及配制 方法，通过所迷药液配制装置以及配制方法可大大提高药液的配制效率。本发明的目的是这样实现的 一种可提高药液配制效率的药液配制装置， 用于使用原液桶中的原液配制出目标浓度和目标体积的药液，该原液桶中装有 标准体积的原液，且该原液桶上具有用于标识原液桶中原液浓度的浓度标识， 该装置包括一用于装栽原液的原液槽、 一用于供添加原液和水以配制出目标浓 度和目标体积的药液的药液配制槽、 一用于向药液配制槽中添加水的供水单元、 一用于将原液桶中的原液驱动至原液槽中的第一驱动装置、 一用于将原液槽中 的原液驱动至药液配制槽的第二驱动装置和一用于存储需配置药液的目标浓度 和目标体积的存储单元，其中，该药液配制装置还包括 一撷取单元，用于撷取每一原液桶的浓度标识； 一计算单元，用于依据撷取单元所撷取的浓度标识 计算出原液槽中的药液浓度； 一控制模块，用于依据计算单元的计算结果和存储单元所存储的数据产生控制信号，并输出至第二驱动装置和供水单元，以控制第二驱动装置和供水单元向药液配制槽中注入相应量的原液和水。在上述的可提高药液配制效率的药液配制装置中，该撷取单元为扫描仪。 在上迷的可提高药液配制效率的药液配制装置中，该原液槽中设置有用于搅拌原液的第一搅拌装置。在上述的可提高药液配制效率的药液配制装置中，该药液配制槽中设置有用于搅拌药液的第二搅拌装置。在上述的可提高药液配制效率的药液配制装置中，该药液为显影液。 本发明还提供一种采用上述可提高药液配制效率的药液配制装置进行药液配制的方法，该方法包括以下步骤(1)存储需配置药液的目标浓度和目标体 积；(2 )撷取每一原液桶的浓度标识；(3 )依据所撷取的浓度标识计算出原 液槽中的药液浓度；(4 )依据所计算出的原液槽中的药液浓度和所存储的目标 浓度和目标体积产生控制信号，并输出至第二驱动装置和供水单元；(5)第二 驱动装置依照控制信号驱动相应量的原液至药液配制槽中，供水单元依照控制 信号供应相应量的水至药液配制槽中。在上述的葯液配制方法中，还包括搅拌药液配制槽中的药液使其混合均匀 的步骤。在上述的药液配制方法中，该药液为显影液。与现有的药液配制装置以及方法很难通过一次配制就配制出目标浓度的药 液相比，本发明中的药液配制装置以及方法可方便撷取并计算出药液配制槽中 药液的浓度，如此即可通过药液配制装置驱动相应量的原液和水一次配制出目 标浓度的药液，如此可大大提高药液的配制效率，并可避免频繁启停驱动装置， 大大提高了驱动装置的使用寿命。附困说明本发明的可提高药液配制效率的药液配制装置以及方法由以下的实施例及 附图给出。图1为现有的药液配制装置的组成结构示意图；图2为本发明的可提高药液配制效率的药液配制装置的实施例的组成结构示意图；图3为本发明的可提高药液配制效率的药液配制装置的实施例的方框图； 图4为本发明的可提高药液配制效率的药液配制方法的实施例的流程图。
具体实施方式
以下将对本发明的可提高药液配制效率的药液配制装置以及药液配制方法 作进一步的详细描述。本发明的可提高药液配制效率的药液配制装置，用于使用原液桶中的原液 配制出目标浓度和目标体积的药液，所述原液桶中装有标准体积的原液，且所 迷原液桶上具有用于标识原液桶中原液浓度的浓度标识。在本实施例中，所述浓度标识为重量浓度值，其范围为24. 90%至25. 30%, 所述目标浓度为2. 37%，所述目标体为IOOO升，所述药液为显影液。参见图2和图3，本发明的可提高药液配制效率的药液配制装置2包括原液 槽20、药液配制槽21、供水单元22、第一驱动装置23、第二驱动装置24、存 储单元25、撷取单元26、计算单元27和控制模块28。以下将详迷药液配制装置2的各构成要件原液槽20用于装栽原液，原液槽20中设置有用于搅拌原液的第一搅拌装置200。在本实施例中，所述原液槽20容量为3000升。药液配制槽21用于供添加原液和水以配制出目标浓度和目标体积的药液，药液配制槽21中设置有用于搅拌药液的第二搅拌装置210。在本实施例中，所述药液配制槽21容量为1500升。供水单元22用于向药液配制槽21中添加水。第一驱动装置23用于将原液桶中的原液驱动至原液槽20。笫二驱动装置24用于将原液槽20中的原液驱动至药液配制槽21。存储单元25用于存储需配置药液的目标浓度和目标体积。撷取单元26用于撷取每一原液桶(未图示)的浓度标识，所述撷取单元26为扫描仪。计算单元27用于依据撷取单元26所撷取的浓度标识计算出原液槽20中的 药液浓度。控制模块28用于^l据计算单元27的计算结果和存储单元25所存储的目标 浓度和目标体积产生控制信号，并输出至第二驱动装置24和供水单元22，以控 制第二驱动装置24和供水单元22向药液配制槽21中注入相应量的原液和水。为进一步说明本发明的药液配制装置2的功效，以使用IO个装有标准体积 原液的原液桶来配制1000升浓度为2. 37%的显影液为例来进行说明，其中，所 述IO个原液桶中的显影液浓度分别为24. 90%、 24. 95%、 25. 00%、 25. 05%、 25. 10%、 25.10%、 25.15%、 25.20%、 25. 25%和25. 30%。首先，存储单元25会存储目标浓度(即2. 37% )和目标体积(即1000升)， 接着通过第一驱动装置23将上述10个原液桶中的显影液原液驱动至原液槽20 中，与此同时，通过撷取单元26撷取上述10个原液桶上的浓度标识，然后通 过计算单元27计算出原液槽20中的显影液原液浓度即为25. 10%，接着控制模 块28依据原液槽20中的显影液原液浓度为25. 10°/。以及存储单元25中存储的目 标浓度2. 37%和目标体积1000升产生驱动94. 42升显影液原液和905. 58升水的 控制信号，并将所述控制信号输出至第二驱动装置24和供水单元22，第二驱动 装置24遂驱动94.42升的显影液原液至药液配制槽21，供水单元22遂供应 905. 58升的水至药液配制槽21，最后通过设置在药液配制槽21中的第二搅拌 装置210搅拌显影液使显影液混合均匀，即得到了 1000升浓度为2. 37%的显影 液。参见图4，本发明的可提高药液配制效率的药液配制方法，首先进行步骤 S40，存储需配置药液的目标浓度和目标体积。.在本实施例中，所述目标浓度为 2.37%,所述目标体为1000升，所属药液为显影液。接着继续步骤S41。 在步骤S41中，撷取每一原液桶的浓度标识。接着继续步骤S42。 在步骤S42中，依据所撷取的浓度标识计算出原液槽中的药液浓度。接着 继续步骤S43。在步骤S43中，依据所计算出的原液槽中的药液浓度和所存储的目标浓度 和艮标体积产生控制信号，并输出至第二驱动装置和供水单元。接着继续步骤 S440在步骤S44中，第二驱动装置依照控制信号驱动相应量的原液至药液配制 槽中，供水单元依照控制信号供应相应量的水至药液配制槽中。接着继续步骤S45。在步骤S45中，搅拌药液配制槽中的药液使其混合均匀。 综上所述，本发明中的药液配制装置以及方法可方便撷取并计算出药液配 制槽中药液的浓度，如此即可驱动相应量的原液和水至药液配制槽， 一次即可 配制出目标浓度的药液，大大提高了药液的配制效率，另可提高驱动装置的使 用寿命。
权利要求
1. 一种可提高药液配制效率的药液配制装置，用于使用原液桶中的原液配制出目标浓度和目标体积的药液，该原液桶中装有标准体积的原液，且该原液桶上具有用于标识原液桶中原液浓度的浓度标识，该装置包括一用于装载原液的原液槽、一用于供添加原液和水以配制出目标浓度和目标体积的药液的药液配制槽、一用于向药液配制槽中添加水的供水单元、一用于将原液桶中的原液驱动至原液槽中的第一驱动装置、一用于将原液槽中的原液驱动至药液配制槽的第二驱动装置和一用于存储需配置药液的目标浓度和目标体积的存储单元，其特征在于，该药液配制装置还包括一撷取单元，用于撷取每一原液桶的浓度标识；一计算单元，用于依据撷取单元所撷取的浓度标识计算出原液槽中的药液浓度；一控制模块，用于依据计算单元的计算结果和存储单元所存储的数据产生控制信号，并输出至第二驱动装置和供水单元，以控制第二驱动装置和供水单元向药液配制槽中注入相应量的原液和水。
2、 如权利要求1所述的可提高药液配制效率的药液配制装置，其特征在于， 该撷取单元为扭描仪。
3、 如权利秉求1所述的可提高药液配制效率的药液配制装置，其特征在于， 该原液槽中设里有用于搅拌原液的第一搅拌装置。
4、 如权利要求1所述的可提高药液配制效率的药液配制装置，其特征在于， 该药液配制槽中设置有用于搅拌药液的第二搅拌装置。
5、 如权利要求1所述的可提高药液配制效率的药液配制装置，其特征在于， 该药液为显影波。
6、 一种采用如权利要求1所述的可提高药液配制效率的药液配制装置进行 药液配制的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤(1)存储需配置药液的目标浓度和目标体积； (2 )撷取每一原液桶的浓度标识； (3)依据所撷取的浓度标识计算出原液槽中的药液浓度； (4 )依据所计算出的原液槽中的药液浓度以及所存储的目标浓度和目标体 积产生控制信号，并输出至第二驱动装置和供水单元；(5)第二驱动装置依照控制信号驱动相应量的原液至药液配制槽中，供水 单元依照控制倌号供应相应量的水至药液配制槽中。
7、 如权利要求6所述的药液配制的方法，其特征在于，该方法还包括搅拌药液配制槽中的药液使其混合均匀。
8、 如权利要求6所述的药液配制的方法，其特征在于，该药液为显影液。
全文摘要
本发明涉及一种可提高药液配制效率的药液配制装置以及方法。现有的药液配制装置以及方法很难通过一次配制就配制出所需的药液。本发明的药液配制装置包括原液槽、药液配制槽、供水单元、第一和第二驱动装置、存储单元、撷取单元、计算单元和控制模块，本发明的药液配制方法先存储需配置药液的目标浓度和目标体积，并撷取每一原液桶的浓度标识，然后依据所撷取的浓度标识计算出原液槽中的药液浓度，接着依据所计算出的药液浓度以及所存储的目标浓度和目标体积产生控制信号，并输出至第二驱动装置和供水单元，以供其驱动相应量的原液和水至药液配制槽。采用本发明的药液配制装置以及方法可大大提高药液配制效率。
文档编号B01F15/04GK101259394SQ20071003783
公开日2008年9月10日 申请日期2007年3月6日 优先权日2007年3月6日
发明者姜红光, 张云秀, 鸣 徐, 秦骏延 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司