技术编号:5023768
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关一种化学过滤网装置,尤其是指一种由侧框内设有吸附 单元,该吸附单元的二外侧各设有滤网,而该二滤网间设有一支撑结构, 且该支撑结构中设有吸附剂,以提供使用于过滤空气的化学过滤网装置,适用于电子制造业的无尘室如IC、 TFT、半导体制造业的无尘室或类似场 地。背景技术随着半导体技术不断的进步,IC工艺线径不断的缩小,最新进的半导 体技术己进入45nm,未来将更进一步地跨入22及32nm工艺技术,也由 于IC线径不断的缩小,因此外部空气或无尘室内中含...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。