专利名称：化学过滤网装置的制作方法
技术领域：
本发明是有关一种化学过滤网装置，尤其是指一种由侧框内设有吸附 单元，该吸附单元的二外侧各设有滤网，而该二滤网间设有一支撑结构， 且该支撑结构中设有吸附剂，以提供使用于过滤空气的化学过滤网装置，
适用于电子制造业的无尘室如IC、 TFT、半导体制造业的无尘室或类似场 地。
背景技术：
随着半导体技术不断的进步，IC工艺线径不断的缩小，最新进的半导 体技术己进入45nm，未来将更进一步地跨入22及32nm工艺技术，也由 于IC线径不断的缩小，因此外部空气或无尘室内中含微污染(Airborne Molecular Contamination, AMC)物质，例如含硫物质SOx 、 H2S 、 DMSO(Dimethyl Sulfoxide ， (CH3)2SO)、 DMS(DimethyI Sulfide ， (CH3)2S) 等，酸性物质NOX，碱性物质NH3、 MEA(Monoethanol Amine, NH2C2H40H)等，含低沸点的挥发性有机化合物(Volatile Organic Compounds, VOCs)、 IPA(Isopropyl Alcohol, C3H7OH)、丙酮等，以及含 高沸点的挥发性有机化合物(Volatile Organic Compounds, VOCs)等，对于 工艺良率的影响，日益扩大。为了提升工艺良率，半导体厂通常需于外气 空调箱及气流循环区加装化学过滤网。
公知的化学滤网往往无法兼顾去除成份、去除效率、压力损失、使用 寿命及制造成本等因素，故实际使用上仍不符使用者的所需。
发明内容
本发明的目的在于提供一种化学过滤网装置，以克服公知技术中存在 的缺陷。
为实现上述目的，本发明提供的化学过滤网装置，包括
一正面框，设有至少一开口；
至少一侧框，该侧框与该正面框固定结合为一体；以及 至少一吸附单元，该吸附单元的二外侧各设有滤网，而该二滤网间设 有一支撑结构，该支撑结构中设有吸附剂，且该吸附单元结合于该侧框中； 由此，以提供一化学过滤网装置。
所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构设为复数个，而该些支撑 结构区隔为数层，且该些支撑结构间进一步设有滤网，以此设置不同的吸 附剂。
所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构为网格状结构。 所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构为蜂巢状结构。 所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构为条格状结构。 所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构的侧边设有开孔。 所述的化学过滤网装置，其中，该吸附单元进一步结合于一吸附剂边
框后再与侧框结合，该吸附剂边框结合于该支撑结构的外围，而该吸附剂
边框再结合于侧框的内侧。
所述的化学过滤网装置，其中，该吸附单元制成薄片型，以利降低压
力损失。
所述的化学过滤网装置，其中，该滤网为不织布滤网。 所述的化学过滤网装置，其中，该滤网为细网。
所述的化学过滤网装置，其中，该正面框的开口上进一步设有滤网。 所述的化学过滤网装置，其中，该侧框于外侧进一步设有一保护网。 所述的化学过滤网装置，其中，该二滤网的外侧进一步设有至少一支 撑辅助结构以支撑该滤网。
本发明提供的化学过滤网装置，由该吸附单元装设时可替换成多种型 式的支撑结构与吸附剂，而使本发明的化学过滤网可适用于各种场合及不 同环境的需求，使去除效率更佳且降低了过滤的压力损失，并提高了化学 过滤网的使用寿命，降低制造成本，增加本发明的实用性与便利性。
图1为本发明实施例的立体外观图。
图2为本发明实施例的使用示意图。
图3为本发明实施例吸附单元与吸附剂边框的组合示意图。
图4为本发明实施例滤网外侧设有支撑辅助结构的组合示意图。
图5为本发明实施例条格状支撑结构与侧框结合的组合示意图。
图6为本发明吸附单元与侧框的组合剖示图。
图7为本发明吸附单元(吸附剂设于二层支撑结构中)与侧框的组合剖示图。
附图中主要组件符号说明
1 o 、正面框
1 1 、开口
2 0 、侧框
3 0 、吸附单元 3 0 1、吸附剂 3 0 2 、滤网
3 0 3 、支撑结构
3 0 4 、开孔
3 0 5 、支撑辅助结构
3 0 3 a 、第一支撑结构
3 0 3 b 、第二支撑结构
3 1 、吸附剂边框
4 0 、保护网
具体实施例方式
本发明的化学过滤网装置，包括一正面框、至少一侧框以及至少一吸 附单元，其中，该正面框设有至少一开口，该侧框与该正面框固定结合为 一体，该吸附单元的二外侧各设有滤网，该二滤网间设有一支撑结构，该 支撑结构中设有吸附剂，且该吸附单元结合于该侧框中；以此，以提供一 化学过滤网装置。
本发明的其它特点及具体实施例可于以下配合附图的详细说明中，进 一步了解。
请参阅图1 图5，本发明包括
一正面框1 0 ，该正面框1 Q上设有至少一开口1 1，该开口 1 1覆 有滤网3 0 2 。
至少一侧框2 0，该侧框2 O可设为V型或U型以扩大吸附的面积， 该侧框2 Q与正面框固定结合为一体(其固定结合可用黏贴等方式实施)， 而侧框2 0外侧可进一步设有保护网4 0 。
至少一吸附单元3 0，该吸附单元3 0制成薄片型，以利降低压力损 失，而该吸附单元3 0的二外侧各设有滤网3 0 2，该滤网3 0 2可设为 不织布滤网、细网或其它形式的滤网，且该些滤网3 0 2间设有吸附剂3 0 1 ，该吸附单元3 Q的二滤网3 Q 2间设有一支撑结构3 0 3 (本实施例
设为一网格状结构，实际实施时亦可以蜂巢状、条格状或类似的结构代替)， 而该吸附剂3 0 1设于该支撑结构3 0 3中，且该吸附单元3 Q结合于该 侧框2 0中，当该支撑结构3 0 3设为条格状而与侧框2 0结合时(请参图 5 )，该支撑结构3 0 3的侧边设有开孔3 0 4，该开孔3 Q 4供将该吸附 剂3 Q l从侧边上倒入，故当支撑结构3 Q 3设为条格状时，可先将二滤 网3 Q 2黏贴于该支撑结构3 0 3上，再从支撑结构3 0 3的侧边倒入吸 附剂3 Q 1 ，最后再将设有开孔3 0 4的侧边封住防止吸附剂3 Q 1外 泄，以完成吸附单元3 0的设置，其中，该吸附单元3 0亦可先结合于一 吸附剂边框3 l后再与侧框2 0相互结合，该吸附剂边框3 l结合于该支 撑结构3 0 3的外围，而该吸附剂边框3 l再结合于侧框2 0的内侧，而 该二滤网3 0 2的外侧亦可进一步设有至少一支撑辅助结构3 Q 5以利 支撑或黏贴该滤网3 0 2 (请参阅图4)。
请参阅图1 图5 ，本发明的特点是在于由侧框2 0内设有吸附单元 3 0，而该吸附单元3 0制成薄片型，以利降低压力损失，且该吸附单元 3 0的二外侧各设有滤网3 Q 2 ，该二滤网3 0 2间设有一支撑结构3 0 3，而令该支撑结构3 0 3中设有吸附剂3 0 l的组合设计，再将该侧框
2 0与该正面框1 0的相互固定结合以形成一化学过滤网装置，而该二滤 网3 Q 2的外侧亦可进一步设有至少一支撑辅助结构3 Q 5以利支撑或 黏贴该滤网；另，装设该吸附单元3 Q时，该吸附单元3 0中的支撑结构
3 0 3与吸附剂3 0 1可依需求与用途来选择置换，故可使微污染物质的
去除效率更佳，并可降低过滤的压力损失，因此提高了化学过滤网的使用 寿命，增加本创作的实用性与便利性。
请参阅图1 图7 ，图3中该吸附单元3 0包括吸附剂3 0 1、 二侧 各有一滤网3 0 2及一支撑结构3 Q 3 ，该吸附剂3 Q 1设于该支撑结构 3 0 3中，二侧各设有一滤网3 0 2，再将该支撑结构3 0 3结合于吸附 剂边框3 l上，由吸附剂边框3 l与侧框2 Q结合，而将吸附单元3 0固 定结合于侧框2 0上，其中该吸附剂边框3 1结合于该支撑结构3 0 3的 外围，而该吸附剂边框3 1再结合于侧框2 0的内侦ij，而图6为该吸附单 元3 0与侧框2 Q固定结合的组合剖示图，其中该侧框2 Q的二侧各结合 一组吸附单元3 0，使用时，外气通过正面框l 0的滤网3 Q 2，从开口 1 l进入侧框2 0中心再往二旁的滤网3 0 2行进并通过吸附单元3 0， 当外气通过该吸附单元3 0时微污染物质会被该吸附剂3 0 l吸收，接着 再通过吸附单元3 0外侧的滤网3 0 2，最后经由保护网4 O排出以完成 过滤。其中该吸附单元3 O制成薄片型，以利降低压力损失，而该吸附单 元3 0的二滤网3 0 2间可进一步设有复数个支撑结构3 0 3，该些支撑 结构3 0 3区隔为数层，且该些支撑结构3 0 3间进一步设有滤网3 0 2，以此设置不同的吸附剂，请参阅图6 图7，为本发明的吸附单元3 0(吸附剂设于该支撑结构中)与侧框2 O结合的组合剖示图，该吸附单元 3 0设为支撑结构3 0 3中设有吸附剂，而本实施例图7中该支撑结构3 0 3区隔为第一支撑结构3 0 3 a与第二支撑结构3 0 3 b二层，且该第 一支撑结构3 0 3a与第二支撑结构3 0 3 b间进一步设有一滤网3 0 2以作为分隔，以此可将不同吸附剂区隔安装于各层支撑结构中，例如于 第一支撑结构3 0 3 a中置入高沸点的挥发性有机化合物吸附剂，而于第 二支撑结构3 0 3 b中置入低沸点的挥发性有机化合物吸附剂，故外气进 入第一支撑结构3 0 3 a中则可先去除高沸点的挥发性有机化合物，再进 入第二支撑结构3 Q 3 b中去除低沸点的挥发性有机化合物，进而达成多 种去除功效，使去除微污染污染物质的效率更佳，使本发明更具实用性与 便利性。
以上所述，仅为本发明的较佳实施例，当不能用以限定本发明可实施 的范围，凡本领域技术人员所明显可作变化与修饰，皆应视为不悖离本发
明的权利要求内容。
综上所述，本发明确可达到创作的预期目的，提供一种化学过滤网装 置，具有实用价值。
权利要求
1、一种化学过滤网装置，包括一正面框，设有至少一开口；至少一侧框，该侧框与该正面框固定结合为一体；以及至少一吸附单元，该吸附单元的二外侧各设有滤网，而该二滤网间设有一支撑结构，该支撑结构中设有吸附剂，且该吸附单元结合于该侧框中；由此，以提供一化学过滤网装置。
2、 如权利要求l所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构设为复 数个，而该些支撑结构区隔为数层，且该些支撑结构间设有滤网，以此设 置不同的吸附剂。
3、 如权利要求l或2所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构为 网格状结构。
4、 如权利要求1或2所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构为 蜂巢状结构。
5、 如权利要求1或2所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构为 条格状结构。
6、 如权利要求5所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构的侧边 设有开孔。
7、 如权利要求l所述的化学过滤网装置，其中，该吸附单元结合于 一吸附剂边框后再与侧框结合，该吸附剂边框结合于该支撑结构的外围， 而该吸附剂边框再结合于侧框的内侧。
8、 如权利要求l所述的化学过滤网装置，其中，该吸附单元制成薄 片型，以降低压力损失。
9、 如权利要求l所述的化学过滤网装置，其中，该滤网为不织布滤网。
10、如权利要求l所述的化学过滤网装置，其中，该滤网为细网。
11、如权利要求l所述的化学过滤网装置，其中，该正面框的开口 上设有滤网。
12、如权利要求4所述的化学过滤网装置，其中，该侧框于外侧设 有一保护网。
13、如权利要求l所述的化学过滤网装置，其中，该二滤网的外侧 设有至少一支撑辅助结构以支撑该滤网。
全文摘要
一种化学过滤网装置，包括一正面框、至少一侧框以及至少一吸附单元，其中，该正面框设有至少一开口，该侧框与该正面框固定结合为一体，该吸附单元的二外侧各设有滤网，该二滤网间设有一支撑结构，该支撑结构中设有吸附剂，且该吸附单元结合于该侧框中；由此，以提供一化学过滤网装置。
文档编号B01D46/10GK101362040SQ20071014389
公开日2009年2月11日 申请日期2007年8月6日 优先权日2007年8月6日
发明者刘邦昱, 徐瑞珠, 林哲弘, 洪守铭, 郑石治, 陈寿忠 申请人:华懋科技股份有限公司