技术编号：5044842
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种尾气处理器循环水系统，其主要应用于半导体工业中薄膜制程工艺所采用化学气相沉积技术的尾气处理。背景技术半导体工业技术中，薄膜制程是其核心工艺。其中，薄膜的化学气相沉积技术是现代工业技术制备各种金属、非金属、合金薄膜，特别是一些介电薄膜等功能薄膜的首选技术。化学气相沉积技术的工艺气压较高，气体源物质较多，生产中将产生大量的尾气，而该尾气一般是非环境友好型气体，诸如硅烷、硼烷、氢气、三氟化氮、砷烷等易燃易爆、有毒、腐蚀性气体，必须经过严格的尾气...
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