专利名称：尾气处理器循环水系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种尾气处理器循环水系统，其主要应用于半导体工业中薄膜制程工艺所采用化学气相沉积技术的尾气处理。
背景技术：
半导体工业技术中，薄膜制程是其核心工艺。其中，薄膜的化学气相沉积技术是现代工业技术制备各种金属、非金属、合金薄膜，特别是一些介电薄膜等功能薄膜的首选技术。化学气相沉积技术的工艺气压较高，气体源物质较多，生产中将产生大量的尾气，而该尾气一般是非环境友好型气体，诸如硅烷、硼烷、氢气、三氟化氮、砷烷等易燃易爆、有毒、腐蚀性气体，必须经过严格的尾气处理后才能排放。目前的尾气处理系统有湿式、干式两种处理方式，大多数企业选用二者结合的湿 热式系统，结构如图I所示。一般来讲，该处理器包括以下三部分热焚烧室、水溶室、等离子体处理系统。湿热式尾气处理系统的工作原理是将化学气相沉积技术的尾气通过真空泵从废排管路泵入热焚烧室内于600 1000°C下进行焚烧，以产生一些可溶性燃烧产物；该焚烧室末端配置喷淋系统，所述喷淋系统根据燃烧产物的性质，采用某种可以将燃烧产物溶解的溶剂或者水，以将前述可溶性燃烧产物及未燃烧充分的气体进行溶解；溶解有燃烧产物及未充分燃烧气体的液相进入水溶室进行沉积处理，而未溶解的气体则进入等离子体处理系统后，在该系统的高压下被电离处理。该系统的处理效率高达95 99%，因而被广泛使用。但是，上述的湿热式处理器系统在运行过程中，需要经常进行维护，主要表现在I)焚烧室腔室中吸附有大量的燃烧产物，运行一定周期后，将阻碍气体的输运，导致处理效果变差，同时存在一定的危险性；2)水溶室易出现沉淀，一方面是由于溶解物质可能存在的过饱和溶解，二是焚烧室固体物质的下降，极可能影响排水系统的循环排水泵的正常使用，因此，需要进行频繁的周期维护。水溶室的周期维护频繁，液体存在一定的危险系数，维护难度较大。排水泵将水溶液泵出后，有两种工作模式，一是循环从循环支路进行重复使用，二是从排水口将该废弃液体排出至污水处理站进行净化处理。
实用新型内容本实用新型针对现有技术的不足，提供一种尾气处理器循环水系统，其能够有效地延长循环水系统的PM周期，缩短循环水系统的PM时间，同时提升设备的运行稼动率。为实现以上的技术目的，本实用新型将采取以下的技术方案一种尾气处理器循环水系统，包括废排输入管道、热焚烧室、水浴室以及等离子体处理装置；热焚烧室出料口的前端设置喷淋装置，且热焚烧室出料口包括热焚烧室出气口和热焚烧室出液口 ；水浴室包括水浴槽，该水浴槽分别设置水浴槽进液口和水浴槽排液口 ；所述废排输入管道与热焚烧室的进气口连接，焚烧室出气口与等离子体处理装置连接，而热焚烧室出液口则与水浴槽进液口连接，水浴槽排液口通过排水泵分别与循环支路和排水管路连接；所述水浴槽按照液体的流向通过设置挡板而分隔成进液区、沉积区以及排液区，且沉积区至少为一个；进液区和各沉积区的底部均设置U型沉积器，该U型沉积器的底部密封安装排污阀；水浴槽进液口面向进液区设置；挡板的下端与水浴槽底部固定，而挡板的上端活动设置，且各挡板的长度沿着液体的流向逐一增高，同时各挡板的板面均开设滤孔。所述挡板为两块，所述沉淀区为一个。所述水浴槽等分设置成进液区、沉积区以及排液区。根据以上的技术方案，可知本实用新型相对于现有技术 ，具有以下的优点U型沉积器的使用可以将溶液中的沉淀沉积在U型沉积器底部，部分悬浮物也逐渐被挡板隔离，焚烧室中的固体物质进入水溶室后同样沉积在U型沉积器底部。逐一增高并开设滤孔的挡板可以将各分隔区域连通，对进入水浴室的液体进行逐级过滤，同时任一挡板上的滤孔堵塞后，都不影响水浴室的正常工作；密封安装排污阀，一方面可以将固体沉淀物集中排出，另一方面在挡板堵塞后，可以将该区域的液体通过排污阀排出。因此，本实用新型能够有效地延长循环水系统的PM周期，缩短循环水系统的PM时间，同时提升设备的运行稼动率。
图I是常用尾气处理器循环水系统结构示意图；图2是本发明所述水浴室的结构示意图；其中水浴槽I ;水浴槽进液口 11 ;进液区12 ;沉积区13 ;排液区14 ;U型沉积器15 ;排污阀16 ;挡板17 ;循环支路2。
具体实施方式
附图非限制性地公开了本实用新型所涉及优选实施例的结构示意图；以下将结合附图详细地说明本实用新型的技术方案。如图I和图2所示，本实用新型所述尾气处理器循环水系统，包括废排输入管道、热焚烧室、水浴室以及等离子体处理装置；热焚烧室出料口的前端设置喷淋装置，且热焚烧室出料口包括热焚烧室出气口和热焚烧室出液口 ；水浴室包括水浴槽，该水浴槽分别设置水浴槽进液口和水浴槽排液口 ；所述废排输入管道与热焚烧室的进气口连接，焚烧室出气口与等离子体处理装置连接，而热焚烧室出液口则与水浴槽进液口连接，水浴槽排液口通过排水泵分别与循环支路和排水管路连接；所述水浴槽按照液体的流向通过设置挡板而分隔成进液区、沉积区以及排液区，且沉积区至少为一个，附图中所述挡板为两块，所述沉淀区为一个，且所述水浴槽等分设置成进液区、沉积区以及排液区；进液区和各沉积区的底部均设置U型沉积器，该U型沉积器的底部密封安装排污阀；水浴槽进液口面向进液区设置；挡板的下端与水浴槽底部固定，而挡板的上端活动设置，且各挡板的长度沿着液体的流向逐一增高，同时各挡板的板面均开设滤孔。因此，根据附图2可知，本实施例对现有的水浴室共进行了以下的改进[0022]I)将水溶室沿液体流向进行三等分，并在等分点处安装两个挡板，以将水浴室分隔为进液区、沉积区以及排液区，且水浴槽进液口面向进液区设置；2)挡板的板面均匀地分布滤孔；且进液区与沉积区之间的挡板高度低于沉积区与排液区之间的挡板高度，同时各挡板与水浴室顶部之间存在一定的间隙；3)在进液区、沉积区的底部设置U型沉积器，并在该U型沉积器的底部各密封安装排污阀。因此，携带有一定溶质的溶剂从水浴槽进液口进入水浴室后，首先是进入进液区，经进液区与沉积区之间的挡板过滤后，进入沉积区，再次沉淀，最后沉积区与排液区之间的挡板过滤后进入排液区区，而被排水泵泵出。故进入水浴室的液体分别进行了一级、二级过滤。U型沉积器的使用可以将溶液中的沉淀沉积在U型沉积器底部，部分悬浮物也逐渐被挡板隔离，焚烧室中的固体物质进入水溶室后同样沉积在U型沉积器底部。高度不同的2个带有滤孔的挡板可以分别进行初级、二级过滤；高度不同的设置也保证了即便挡板堵塞也能三个空间(进液区、沉积区以及排液区)的贯通；排污阀的设计，基于两点一是固体沉淀物的集中排出，二是液体的排泄。
权利要求1.一种尾气处理器循环水系统，包括废排输入管道、热焚烧室、水浴室以及等离子体处理装置；热焚烧室出料口的前端设置喷淋装置，且热焚烧室出料口包括热焚烧室出气口和热焚烧室出液口 ；水浴室包括水浴槽，该水浴槽分别设置水浴槽进液口和水浴槽排液口 ；所述废排输入管道与热焚烧室的进气口连接，焚烧室出气口与等离子体处理装置连接，而热焚烧室出液口则与水浴槽进液口连接，水浴槽排液口通过排水泵分别与循环支路和排水管路连接；其特征在于所述水浴槽按照液体的流向通过设置挡板而分隔成进液区、沉积区以及排液区，且沉积区至少为一个；进液区和各沉积区的底部均设置U型沉积器，该U型沉积器的底部密封安装排污阀；水浴槽进液口面向进液区设置；挡板的下端与水浴槽底部固定，而挡板的上端活动设置，且各挡板的长度沿着液体的流向逐一增高，同时各挡板的板面均开设滤孔。
2.根据权利要求I所述尾气处理器循环水系统，其特征在于所述挡板为两块，所述沉淀区为一个。
3.根据权利要求2所述尾气处理器循环水系统，其特征在于所述水浴槽等分设置成 进液区、沉积区以及排液区。
专利摘要本实用新型公开了一种尾气处理器循环水系统，包括废排输入管道、热焚烧室、水浴室以及等离子体处理装置；水浴室包括水浴槽，该水浴槽分别设置水浴槽进液口和水浴槽排液口；所述水浴槽按照液体的流向通过设置挡板而分隔成进液区、沉积区以及排液区，且沉积区至少为一个；进液区和各沉积区的底部均设置U型沉积器，该U型沉积器的底部密封安装排污阀；水浴槽进液口面向进液区设置；挡板的下端与水浴槽底部固定，而挡板的上端活动设置，且各挡板的长度沿着液体的流向逐一增高，同时各挡板的板面均开设滤孔。因此，本实用新型能够有效地延长循环水系统的PM周期，缩短循环水系统的PM时间，同时提升设备的运行稼动率。
文档编号B01D36/04GK202387305SQ20112055402
公开日2012年8月22日 申请日期2011年12月27日 优先权日2011年12月27日
发明者傅光进, 崔晓培, 曹剑忠 申请人:江苏综艺光伏有限公司