技术编号:5047077
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子和光伏领域,具体涉及硅烷生产过程中的一种蒸发设备装置。背景技术小松法生产硅烷生产工艺,在整个生产过程的未端,会产生由液氨和氯化铵组成的固液混合物,其中的液氨可以回收再利用,氯化铵可以作为肥料处理,使整个生产过程达到零排放。常用技术方案是将液氨和氯化氨的混合物放入蒸发器内,然后在蒸发器的加套内通入蒸汽加热,将液氨汽化和固态的氯化铵分离。通常蒸汽压力控制在O. 3-0. 5MPa,蒸发器内温度控制在100— 150°C,经过16小时就能完成整个汽...
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