技术编号：5136453
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及长期稳定的水性或半水性浆料悬浮体。更具体地提供了具有长期 稳定性特性、即称作软沉降性能的水性和半水性浆料，其应用于包括精研应用、线锯切 害I]、CMP (化学机械抛光/平面化)金属成形和精加工、以及无磨料研磨的许多商业应用。背景技术非胶态高密度磨料颗粒的非水性、半水性和水性悬浮体先前已用于线锯切割和 晶片精研，但是尚没有成功获得稳定浆料。颁给Stricot的美国专利No.5,099,820公开了 碳化硅颗粒在水或油中的悬浮体磨料浆体。然而，所述悬...
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