技术编号：5138539
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种硅片线切割用水基切削液，由下列重量份的原料制成环烷酸钠2-3、壬基酚聚氧乙烯醚2-3、油酸二乙醇胺1-2、脂肪酸甘油酯4-5、月桂醇硫酸钠1-2、矿物油15-18、石油磺酸钠2-3、油酸1-2、助剂6-8、水200；本发明切削液的表面张力低，极大提高切削液对磨料的润湿性，提高了磨料的分散性，避免磨料团聚结成块对硅片带来损坏；冷却和润滑性能好，加工精度高，有利于提高硅片切割的成品率，使硅片切割成品率达到98%，而且切割线使用寿命长；对硅片无腐蚀且可在硅片...
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