一种硅片线切割用水基切削液及其制备方法
【专利摘要】一种硅片线切割用水基切削液，由下列重量份的原料制成：环烷酸钠2-3、壬基酚聚氧乙烯醚2-3、油酸二乙醇胺1-2、脂肪酸甘油酯4-5、月桂醇硫酸钠1-2、矿物油15-18、石油磺酸钠2-3、油酸1-2、助剂6-8、水200；本发明切削液的表面张力低，极大提高切削液对磨料的润湿性，提高了磨料的分散性，避免磨料团聚结成块对硅片带来损坏；冷却和润滑性能好，加工精度高，有利于提高硅片切割的成品率，使硅片切割成品率达到98%，而且切割线使用寿命长；对硅片无腐蚀且可在硅片表面形成保护膜，使硅片更容易被清洗。
【专利说明】一种硅片线切割用水基切削液及其制备方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及切削液领域，尤其涉及一种硅片线切割用水基切削液及其制备方法。
【背景技术】
[0002]切削液应具备良好的冷却性能、润滑性能、防锈性能、除油清洗功能、防腐功能、易稀释特点。目前切削液可分为两类，油溶性切削液和水溶性切削液。一般油溶性切削液润滑性能好，但冷却性能差，且含有大量有机物，污染环境。一些水溶性切削液虽然冷却性能好，又存在润滑性和防锈效果差的问题，因此研发兼具润滑性、冷却性、防锈性、易清洗、无毒、无味、对人体无侵蚀、对设备不腐蚀、对环境不污染的切削液就显得很重要。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于提供一种硅片线切割用水基切削液及其制备方法，该切削液润滑性好，表面张力低、提高硅片成品率。
[0004]本发明的技术方案如下:
[0005]一种硅片线切割用水基切削液，其特征在于由下列重量份的原料制成:环烷酸钠
2-3、壬基酚聚氧乙烯醚2-3、油酸二乙醇胺1-2、脂肪酸甘油酯4-5、月桂醇硫酸钠1-2、矿物油15-18、石油磺酸钠2-3、油酸1-2、助剂6-8、水200 ;所述的助剂由下列重量份的原料制成:聚氧乙烯山梨糖醇酐单油酸酯2-3、纳米氮化铝0.1-0.2、碳酸氢铵2-3、乙醇胺1-2、羧甲基壳聚糖2-3、二乙二醇 丁醚1-2、丙二醇5-8、桃胶2-3、硅酸钠1_2、尿素3_4、过硫酸铵1-2、水20-24 ;制备方法是将过硫酸铵溶于水后，再加入其它剩余物料，搅拌10-15分钟，加热至70-80°C，搅拌反应1-2小时，即得。
[0006]所述硅片线切割用水基切削液的制备方法，其特征在于包括以下步骤:将水、环烷酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、月桂醇硫酸钠、石油磺酸钠混合，加热至40-50°C ;加入脂肪酸甘油酯、矿物油、油酸、助剂，在1000-1200转/分搅拌下继续加热到70-80°C，搅拌10-15分钟；加入其他剩余成分，继续搅拌15-20分钟，即得。
[0007]本发明的有益效果
[0008]本发明切削液的表面张力低，极大提高切削液对磨料的润湿性，提高了磨料的分散性，避免磨料团聚结成块对硅片带来损坏；冷却和润滑性能好，加工精度高，有利于提高硅片切割的成品率，使硅片切割成品率达到98%，而且切割线使用寿命长；对硅片无腐蚀且可在硅片表面形成保护膜，使硅片更容易被清洗。
【具体实施方式】
[0009]一种硅片线切割用水基切削液，由下列重量份(公斤)的原料制成:环烷酸钠2.5、壬基酚聚氧乙烯醚2.5、油酸二乙醇胺1.5、脂肪酸甘油酯4.5、月桂醇硫酸钠1.5、矿物油16、石油磺酸钠2.5、油酸1.5、助剂7、水200 ;所述的助剂由下列重量份(公斤)的原料制成:聚氧乙烯山梨糖醇酐单油酸酯3、纳米氮化铝0.1、碳酸氢铵3、乙醇胺1、羧甲基壳聚糖2、二乙二醇丁醚1、丙二醇8、桃胶3、硅酸钠1、尿素4、过硫酸铵2、水20 ;制备方法是将过硫酸铵溶于水后，再加入其它剩余物料，搅拌10-15分钟，加热至70-80°C，搅拌反应1-2小时，即得。
[0010]所述硅片线切割用水基切削液的制备方法，包括以下步骤:将水、环烷酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、月桂醇硫酸钠、石油磺酸钠混合，加热至45°C ;加入脂肪酸甘油酯、矿物油、油酸、助剂，在1100转/分搅拌下继续加热到75°C，搅拌13分钟；加入其他剩余成分，继续搅拌18分钟，即得。
[0011]该实施例得到的硅片线切割用水基切削液试验数据如下:
[0012]
【权利要求】
1.一种硅片线切割用水基切削液，其特征在于由下列重量份的原料制成:环烷酸钠2-3、壬基酚聚氧乙烯醚2-3、油酸二乙醇胺1-2、脂肪酸甘油酯4-5、月桂醇硫酸钠1-2、矿物油15-18、石油磺酸钠2-3、油酸1-2、助剂6-8、水200 ;所述的助剂由下列重量份的原料制成:聚氧乙烯山梨糖醇酐单油酸酯2-3、纳米氮化铝0.1-0.2、碳酸氢铵2-3、乙醇胺1-2、羧甲基壳聚糖2-3、二乙二醇丁醚1-2、丙二醇5-8、桃胶2-3、硅酸钠1_2、尿素3_4、过硫酸铵1-2、水20-24 ;制备方法是将过硫酸铵溶于水后，再加入其它剩余物料，搅拌10-15分钟，加热至70-80°C，搅拌反应1-2小时，即得。
2.根据权利要求1所述硅片线切割用水基切削液的制备方法，其特征在于包括以下步骤:将水、环烷酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、月桂醇硫酸钠、石油磺酸钠混合，加热至40-50°C ；加入脂肪酸甘油酯、矿物油、油酸、助剂，在1000-1200转/分搅拌下继续加热到70-80°C，搅拌10-15分钟； 加入其他剩余成分，继续搅拌15-20分钟，即得。
【文档编号】C10N30/06GK103725390SQ201310653501
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2013年12月6日 优先权日:2013年12月6日
【发明者】张万宝 申请人:当涂县金龙机械厂