技术编号：5264941
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学应用方法，特别涉及一种在纳米薄膜沉积制造过程中，可监控纳米薄膜表面结构与薄膜厚度的光学方法。背景技术 纳米是近年来讨论相当热烈的话题，纳米技术更被喻为影响人类未来重要的技术之一，纳米是一尺寸形容词，纳米结构的大小约为1～100纳米，即介于分子和次微米之间。由于在如此小的尺度下，古典理论已不敷使用，量子效应(quantum effect)对于物体本身影响将成为不可忽视的因素，再加上表面积所占的比例大增，因此物质将会呈现回异于巨观尺度下的物理...
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