技术编号：5265472
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微精细加工领域，涉及微流控芯片技术，特别涉及一种应用于普通实验室的微流控芯片的低温键合的方法。背景技术微全分析系统(Micro Total Analysis Systems, μ-TAS)是一个以分析化学为基础发展起来的跨学科新领域。它是以微机电(MEMS)为基础，通过在硅、玻璃、石英、高分子材料表面加工出10 100微米的通道及网络，实现分析设备的微型化、便携化，用于此种目的芯片一般被称为微流控芯片。玻璃及石英材料以其良好的紫外透光性、表面稳定...
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