技术编号：5266212
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于碳微机电，具体涉及一种表面集成微纳金属褶皱的碳微电极阵列结构的制备方法，所制备的阵列结构可作为微电极，应用于微型电池、生物芯片和微型电化学传感器等微机电领域中。背景技术碳微机电系统(C-MEMS)技术是一种厚胶光刻结合高温热解(通常1000度左右)的制造技术，该技术基于高粘性的光刻胶(如SU-8胶)和常规光刻工艺生成三维交联微结构，然后在热解炉中和惰性气氛条件下，通过升温控制交联结构热解转换成玻璃碳结构。该技术具有大批量、工艺简单和可制造多种多样...
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