用于微机电封盖制程的封装结构的制作方法技术资料下载

技术编号:5266685

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本发明是与微机电组件封盖制程(cap package)有关,特别是关 于一种用于微机电封盖制程的封装结构。背景技术现有微机电封盖制程的封装结构会使用到一种导电粘胶,此导 电粘胶是以金属导电物质,例如金粉、铂粉、银粉、镍粉、铜粉、 铝粉或镀银微粒填充于树脂材料中,以形成导电性。在进行封盖制程(cap package)时,导电粘胶是涂布于基板表 面,以供将盖体固设于基板;同时,导电粘胶具有导电的作用,可因 应使用者需要并配合特定的线路,产生特定的效果;例如形成...
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