技术编号：5266828
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总的涉及一种利用间隔体技术制造纳米级压印模的结构和方法。更具体说，本发明涉及一种利应用间隔体技术制造纳米级压印模的结构和方法，其中所获得的压印模可以占据基本上所有的基底表面面积，压印模形成在该基底上，并且其中压印模可以有复杂的形状，各种压印模之间形状是不同的。背景技术 纳米尺寸印刷的平版印刷是获得纳米尺寸(小到几十个纳米)图案的有前途的技术。形成纳米尺寸图案的关键步骤是首先制成压印模，它包含与纳米尺寸图案互补的图案。在附图说明图1a中，现有的纳米级印...
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