技术编号：5266997
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及模具、其制造方法及采用该模具的由固化性树脂的固化物 形成的具有转印微细图案的基材的制造方法。背景技术近年来，使表面具有微细图案的模具与基材接触而在基材的表面形成 微细图案的转印图案的方法、即所谓的纳米压印法受到关注(专利文献l、2)。其中，依次进行在模具的微细图案的表面和基材之间配置光固化性树 脂的工序、对光固化性树脂进行光照而使光固化性树脂固化形成固化物的 工序以及将模具从固化物分离的工序的具有转印微细图案的基材的制造方 法受到关注。作为该制造...
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