技术编号：5267065
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，属于智能微型器件领域。 背景技术近二十年来，微机电系统(M五MS)技术取得了飞速发展。目前的一个研究趋势是系统级芯片C^欲m o" a cfe;p， soc)，将各种微传感器、微制动器、控制电路、通讯系统以及能源系统集成在单个芯片上，来提高系统性能、有效降低系统体积和制造成本。其中能源系统至关重 要，为其他组件提供工作所需的能量。变压器是一种重要的电压转换元件，在能源系统中有 着广泛应用。现有的基于MEMS技术的微机械变压器都是电感耦合式的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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