技术编号：5267361
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于微电子机械，特别涉及一种超高分辨率的结 构完全对称的双向微惯性传感器。 背景技术最近十几年来，用微机械技术制作的加速度计得到了迅速的发展。其 主要的加速度检测技术有压阻检测、压电检测、热检测、共振检测、电磁 检测、光检测、隧道电流检测和电容检测等。此外，还有一些基于别的检 测技术的加速度计，如光加速度计、电磁加速度计、电容加速度计等。光 加速度计的发展主要是为了结合光和微机械的优点，制作高电磁屏蔽或者 好线性度的传感器。在这些传感器中，电容式...
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