专利名称：一种双向微惯性传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型属于微电子机械技术领域，特别涉及一种超高分辨率的结 构完全对称的双向微惯性传感器。
背景技术：
最近十几年来，用微机械技术制作的加速度计得到了迅速的发展。其 主要的加速度检测技术有压阻检测、压电检测、热检测、共振检测、电磁 检测、光检测、隧道电流检测和电容检测等。此外，还有一些基于别的检 测技术的加速度计，如光加速度计、电磁加速度计、电容加速度计等。光 加速度计的发展主要是为了结合光和微机械的优点，制作高电磁屏蔽或者 好线性度的传感器。在这些传感器中，电容式加速度传感器，由于具有温 度系数小，灵敏度高，稳定性好等优点，是目前研制得最多的一类加速度 传感器。
为了得到较高的测量灵敏度和减小外围电路的复杂性，除采用增加电 极面积和减小电极之间的间距来获得较高的等效电容的方法外，还可以通 过增大测试信号电压的方法以减小电子噪声。而对于一般梳齿状的电容式 传感器，测试信号电压增大产生的非线性静电力对传感器的线性度、量程
等的影响变的很明显，从而影响了器件的性能。而双向(X-Y)敏感的惯 性传感器有的采用两个单向器件惯性组合的方法，这种的方法组合时候容 易产生误差；有的利用硅晶体的特性，加工倾斜面的支撑梁，从而达到双 向敏感的目的，但是这种方式空气压膜阻尼噪声大，测试信号电压容易产 生非线性。 发明内容
本实用新型的目的就是针对现有技术的不足，提供一种超高分辨率的 结构完全对称的双向微惯性传感器。该双向微惯性传感器可以更加有效的 测量X-Y方向上的微小加速度信号(或振动信号)。本实用新型的目的是通过下述技术方案具体实施的双向微惯性传感 器包括硅质量块、锚点、U形硅支撑梁、连接梁、玻璃衬底、铝电极、阻 尼梳齿。当质量块敏感方向上加载加速度的时候，栅形条和衬底间的电容 因叠加面积变化而变化，通过检测电容变化来检测所加载的加速度的大 小。
所述的硅质量块通过四跟连接梁分别与四跟U形硅支撑梁相连，U形 硅支撑梁与锚点固定连接；
所述的硅质量块上设置有用于X-Y方向敏感检测的栅形槽，并对称 分布在X-Y敏感平面上；
所述的玻璃衬底上的铝电极为栅形，栅形铝电极组成检测模块，在 X、 Y方向上各设置有八个检测模块，各个检测模块间通过铝线连接；
所述的阻尼梳齿分布在硅质量块的边框四周，X方向的各个阻尼梳齿 间通过铝连接线连接，Y方向的各个阻尼梳齿间通过铝连接线连接，根 据精度的不同调整梳齿的个数和梳齿间的间距。
本实用新型通过合理布置质量块的位置使其在X-Y方向上完全对 称，来实现了 X-Y方向上性能的对称，并在质量块上开栅形槽以和衬底 上的电极组成差分检测电容。检测电容极板间的差动表现为滑膜阻尼特 性，从而减小了布朗噪声，由于敏感方向在X-Y平面，而测试信号电压 产生的非线性静电力在Z方向，从而可以通过增大测试电压来增加传感器 的灵敏度，而不会降低传感器的线性度。另外，通过改变支撑梁的尺寸还 可以改变传感器的量程和响应特性。
本实用新型提供的结构完全对称的双向微惯性传感器在X-Y方向上 性能完全一致，增大了测试信号电压提高了灵敏度和分辨率，检测电容极 板间差分运动时空气阻尼表现为滑膜阻尼，从而降低了空气阻尼引起的布 朗噪声。本实用新型涉及的双向微惯性传感器结构新颖，分辨率和灵敏度 高，制作工艺简单，有利于降低成本和提高成品率，是一种可以实际应用 的双向微惯性传感器。
图1为玻璃衬底上的栅形铝电极及其各个检测模块结构示意图2为双向微机械惯性传感器的俯视结构示意图。
图中l为质量块的外部连接锚点，2为阻尼梳齿间的铝连接线，3为 铝电极间的铝连接线，4、 6、 7为X方向差分检测右端电容的外部连接锚 点，5为Y方向差分检测上端电容的外部连接锚点，8、 ll.为X方向差 分检测左端电容的外部连接锚点，9、 IO为Y方向差分检测下端电容的外 部连接锚点，12为X方向差分检测铝电极13.Y方向差分检测铝电极， 14为双向传感器质量块的支撑锚点，15为U形硅支撑梁，16为阻尼梳 齿，17为X方向质量块上的差分检测硅电极，18为硅质量块和U形硅 支撑梁间的连接梁，19为Y方向质量上的差分检测硅电极。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图l所示， 一种双向微惯性传感器，在衬底上形成X、 Y方向的差 分检测电容电极12、 13，可动质量块的外部连接锚点1，阻尼梳齿和质量 块铝连接引线2， X、 Y方向上各个连接电极间铝连接线3， X、 Y方向的 差分检测电极的外部连接锚点4 11。如图2所示，与质量块相连的锚点 14键合在衬底上，质量块和外部锚点的连接通过铝连接线2实现，可动 质量块通过U形弹性梁15和中间连接梁18和支撑锚点14相连，X、 Y 方向上的栅形硅电极17、 19分别位于衬底金属电极对12、 13的正上方， 质量块上的可动栅形电极17、 18上各个栅之间的距离相同，X、 Y方向上 的阻尼用阻尼梳齿16控制。
该双向微传感器结构X、 Y方向上完全对称，所以两个方向上性能完 全相同。由于在XA、 XB、 YA、 YB上所加载波信号的幅值电压越大，则 传感器的灵敏度越大，电路噪声越小，而木实用新型结构中载波信号产生 的静电力和敏感方向是垂直的，从而消除了静电力的影响，所以可以通过 增大载波信号幅值来提高传感器灵敏度和分辨率。
权利要求1、一种双向微惯性传感器，包括硅质量块、锚点、U形硅支撑梁、连接梁、玻璃衬底、铝电极、阻尼梳齿，其特征在于所述的硅质量块通过四跟连接梁分别与四跟U形硅支撑梁相连，U形硅支撑梁与锚点固定连接；所述的硅质量块上设置有用于X-Y方向敏感检测的栅形槽，并对称分布在X-Y敏感平面上；所述的玻璃衬底上的铝电极为栅形，栅形铝电极组成检测模块，在X、Y方向上各设置有八个检测模块，各个检测模块间通过铝线连接；所述的阻尼梳齿分布在硅质量块的边框四周，X方向的各个阻尼梳齿间通过铝连接线连接，Y方向的各个阻尼梳齿间通过铝连接线连接。
专利摘要本实用新型涉及一种双向微惯性传感器。现有技术容易产生误差、空气压膜阻尼噪声大。本实用新型由玻璃衬底及其上的固定栅形条固定电极、固定在玻璃衬底上的四个硅锚点、悬在玻璃衬底上方的硅质量块组成的超高分辨率的结构完全对称的双向微惯性传感器；硅质量块主要包括8个X方向栅形条和8个Y方向上栅形条以及各个栅形模块相连的小矩形质量块、用于控制阻尼大小的阻尼梳齿、4个锚点和质量块相连的U形支撑梁、质量块和支撑梁相连的连接梁。本实用新型在X-Y方向上性能完全一致，增大了测试信号电压提高了灵敏度和分辨率，检测电容极板间差分运动时空气阻尼表现为滑膜阻尼，从而降低了空气阻尼引起的布朗噪声。
文档编号B81C99/00GK201344938SQ200920114080
公开日2009年11月11日 申请日期2009年2月20日 优先权日2009年2月20日
发明者孙玲玲, 董林玺, 颜海霞 申请人:杭州电子科技大学