技术编号：5267503
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纳米结构的材料以及他们在微电子设备中的应用。具体地，本发明涉及构成高深宽比(high aspect ratio)纳米粒子的排列结构以及在制造微电子设备中使用高深宽比纳米粒子的排列结构的低成本处理。背景技术在过去的40-50年，基于硅的互补金属氧化物半导体(CMOS)电子器件经历了显著发展。期望的是，通过不断引入新的材料和设备结构以提高性能和降低成本，CMOS电子器件将继续成为信息技术的中坚力量。然而，基于硅的电子器件在低端和高端市场两个方面正在面...
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