使用等离子体处理的部件形成方法技术资料下载

技术编号:5267599

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相关申请的参引Yiliang Wu 等的"FEATURE FORMING PROCESS USINGACID-CONTAINING COMPOSITION”(代理人案号20081055-US-NP),申请日2009年3月5日,美国序列号 12/398611。背景技术人们对使用液相沉积技术加工电子电路元件非常关注,因为此类技术为用于电 子应用如薄膜晶体管(TFT)、发光二极管(LED)、大面积柔性显示器和标识、无线射频辨识 (RFID)标签、光电器件、传感器...
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