技术编号：5268829
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种MEMS (Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)杠杆式片状互锁机构，属于微机械领域。背景技术随着社会的不断发展和和技术的不断更新，人们对于产品的要求不断提高，这使得产品功能超群的同时降低其成本成为人们必须面对的相互矛盾的一个要求。解决这一难题的方法之一就是采用微机电系统，即MEMS，它使得系统及产品向着小型化、智能化、集成化的方向发展，可以预见=MEMS会给人类社会带来另一次技术革命，它将对21世纪的科...
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