专利名称：Mems杠杆式片状互锁机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种MEMS (Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)杠杆式片状互锁机构，属于微机械领域。
背景技术：
随着社会的不断发展和和技术的不断更新，人们对于产品的要求不断提高，这使得产品功能超群的同时降低其成本成为人们必须面对的相互矛盾的一个要求。解决这一难题的方法之一就是采用微机电系统，即MEMS，它使得系统及产品向着小型化、智能化、集成化的方向发展，可以预见=MEMS会给人类社会带来另一次技术革命，它将对21世纪的科学技术、生产方式和人类生产质量产生深远影响，是关系到国家科技发展、国防安全和经济繁荣的一项关键技术。MEMS的特点同时也是体现它本质属性要求的是器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短，只有满足了这些条件，才能更好的促进制造技术的发展。我国近几年在MEMS结构设计方面的研究逐渐深入，各种巧妙的设计思想不断涌现。MEMS设计关键是小体积，高可靠性，低耗能，易于加工。一般的定位机构，滑块需要较大的起始力矩，并且在实现定位时也消耗很大的能量=MEMS结构有限的空间除了把自然出现的运动环境(如离心环境，跌落环境)作为动力来源也不希望再提供其他的动力源装置，而且可靠性也有待提高，所以急需一种结构简单的低能耗的并且能准确定位的定位机构。
发明内容
本发明的目的是提供一种MEMS杠杆式片状互锁机构，该机构能识别外界力学环境，并在一定时间内准确可靠定位。MEMS杠杆式片状互锁机构由滑块，“杠杆”，外边框组成，整个机构为一片状机构。 各部分可分别加工，然后按照预先的设计进行装配即可，实施简单。本发明的MEMS杠杆式片状互锁机构的主要技术特征是:MEMS杠杆式片状互锁机构由滑块，“杠杆”，外边框组成。受离心力作用的滑块运动到位后由“杠杆”上的卡头和其自身结构上的凹槽配合进行锁闭，滑块精准定位并且不会回弹；本发明的目的是这样实现的MEMS杠杆式片状互锁机构由滑块，“杠杆”，外边框组成。当此机构受离心力作用时，滑块向背离旋转中心的方向运动，其前端碰到“杠杆”一端， “杠杆”另一端卡头滑入滑块上的凹槽内锁闭，实现精准定位并且滑块不会脱钩回弹。本发明超低能耗的MEMS杠杆式片状互锁机构作用原理与工作过程为滑块在离心力作用下向着背离旋转中心的方向运动，一定时间后，其前端碰到“杠杆”一端，“杠杆”另一端即卡头顺势滑入滑块上的凹槽内锁闭，实现精准定位并且滑块不会脱钩回弹；滑块的质心位置在安装中心0点右侧。
图1是机构的总体结构2是边框的结构3是”杠杆”结构4是滑块的结构图其中1-边框、2- “杠杆”、3-卡头、4-滑块、5-滑块凹槽。
具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述。图1是此机构的总体结构图，在图1中，框架1固定，其余结构都可以产生相对1 的运动。其装配和连接关系如下MEMS杠杆式片状互锁机构由边框1，“杠杆”2和滑块4组成，其质心位置在安装中心0点右侧，滑块锁定机构由卡头3和滑块凹槽5共同完成。各部分分别加工，简单装配。本发明的作用原理与工作过程为在MEMS杠杆式片状互锁机构以0点为中心旋转运动时，滑块4在离心力的作用下向背离旋转中心的方向运动，一定时间后，其前端碰到“杠杆”一端，“杠杆”另一端卡头顺势滑入滑块上的凹槽内锁闭，实现精准定位并且滑块不会脱钩回弹。
权利要求
1.此MEMS杠杆式片状互锁机构，主要技术特征是机构由滑块，“杠杆”，外边框组成； 受离心力作用的滑块运动到位后由“杠杆”上的卡头和其自身结构上的凹槽配合锁闭，滑块精准定位并且不会回弹，此动作过程基本没有能量损耗；各部分可分别加工，然后按照预先的设计进行装配即可，实施性简单。
2.如权利要求1所述，MEMS杠杆式片状互锁机构特征在于机构由外边框1，“杠杆”2 和滑块4组成，关键锁定机构由“杠杆” 2上的卡头3和滑块4上的槽5共同完成。
全文摘要
一种杠杆式片状互锁的微机电系统(MEMS)机构，涉及MEMS结构和精确定位技术，属微机械领域。整个机构为一片状结构，该机构能在加速度较低的情况下使滑块移动，移动到预定位置时与杠杆互锁，准确定位，并且在反向的力作用时不易脱开。主要技术特征是此MEMS杠杆式片状互锁机构由滑块，“杠杆”，外边框组成。受离心力作用的滑块运动到位后由“杠杆”上的卡头和其自身结构上的凹槽配合锁闭，滑块精准定位并且不会回弹；各部分可分别加工，然后按照预先的设计进行装配即可，实施性简单；杠杆和外边框的安装利用半圆形卡头和卡槽，可以方便和可靠的安装在一起。
文档编号B81B7/00GK102259821SQ20101056601
公开日2011年11月30日 申请日期2010年11月25日 优先权日2010年11月25日
发明者刘传钦, 吕永佳, 娄文忠, 宋荣昌 申请人:北京理工大学