技术编号：5271260
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种大行程结构的静电驱动MEMS变形镜的制作方法本发明属于微光机电系统，特别涉及一种适用于自适应光学系统的静电吸引型大行程MEMS变形镜的制作方法。背景技术在变形镜领域，静电驱动的MEMS (微电子机械系统)变形镜具有响应速度快、能耗低、体积小、单元密度高以及与集成电路兼容性好的优点，而成为一种最具有发展潜力的微变形镜。然而，现有的静电驱动MEMS变形镜，因收到静电吸引(pull-1n)现象的限制， 其有效行程只有上、下电极初始间隙的三分之一。采用表面硅工...
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