技术编号：5271336
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及制备纳米材料的方法，尤其是在基板上制备纳米点阵列的方法。背景技术 相对于光刻技术而言，非传统纳米制造工艺给器件进一步小型化开辟了一条崭新的途径。目前，在基板上制备纳米点阵列的方法有以下几种Seung Min Park等在文献“Appl.Phys.Lett.2005，86，023104”的《Arrayof luminescent Er-doped Si nanodots fabricated by pulsed laserdeposition》中报...
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