技术编号：5271712
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于纳米材料图案化制备领域，具体涉及模板法制备图案化硅纳米井阵列。背景技术硅基底的纳米井阵列，由于其大的比表面积，优异的对波的吸收能力，成为新型功能纳米材料的基础。硅基底纳米结构的材料在许多领域均有重要应用([I] Huang, Z.;Geyer, N.; Werner, P.; Boor, J; Gosele, U.Adv.Mater.2011, 23, 285—308)。如，光电传感器([2] Ti an, B.; Zheng, X.; Kemp...
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