技术编号：5272188
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种凝冲几电系统(Micro-electro mechanical system, MEMS) 装置的制程，特别是涉及一种在制作微机电元件中，晶圆背面对准的制程。 本发明更涉及一种在在制作MEMS装置中，判断晶圓背面对准制程中重叠 对准精度的改良方法以及装置。背景技术微机电系统(MEMS)装置已经被广泛地运用于各个领域中，如晶圓级封 装、积体光学、压力感测器、复合元件以及背面通孔。在立体元件如MEMS 元件的制程中，是先对基材的其中一面(正面)进...
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