技术编号：5272204
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，特别涉及将MEMS (微电气机械系统)等的功能元件配置在形成于基板上的空洞部中的电子装置 的结构及其制造方法。背景技术一般，己知有将MEMS等的功能元件配置在形成于基板上的空洞部 中的电子装置。例如，微型振子、微型传感器、微型致动器等MEMS， 需要以能够使微小结构体振动、变形及进行其他动作的状态来配置，所 以以可以动作的状态收纳在空洞内(例如，参照下述专利文献1和2)。但是，关于形成上述空洞的方法，己经知道专利文献1公开的以下 方法，在一...
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