技术编号:5277677
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于金属掩膜板制作与金属掩膜板应用领域,具体涉及一种金属掩膜板剥离装置。背景技术电铸法是一种高精度的金属掩膜板制作技术,其原理是在芯模板上通过电化学材料生长的方法而制备一层金属薄板,即电铸金属掩膜板。此后,需要将所形成的电铸金属掩膜板从该芯模板上分离下来,并进行后续工艺处理并形成最终的产品。由于电铸金属掩膜板是在芯模板上生长出来的,从而在二者之间存在一层结合力,传统的分离设备和方法均为利用人工来进行分离。在电铸金属掩膜板精度较低且厚度较大的情况下,可...
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