专利名称：金属掩膜板剥离装置的制作方法
技术领域：
本发明属于金属掩膜板制作与金属掩膜板应用领域，具体涉及一种金属掩膜板剥离装置。
背景技术：
电铸法是一种高精度的金属掩膜板制作技术，其原理是在芯模板上通过电化学材料生长的方法而制备一层金属薄板，即电铸金属掩膜板。此后，需要将所形成的电铸金属掩膜板从该芯模板上分离下来，并进行后续工艺处理并形成最终的产品。由于电铸金属掩膜板是在芯模板上生长出来的，从而在二者之间存在一层结合力，传统的分离设备和方法均为利用人工来进行分离。在电铸金属掩膜板精度较低且厚度较大的情况下，可以采用传统上的手工剥离方法。但是，随着技术的进步和工业要求的不断提高，电铸金属掩膜板的厚度越来越薄，且精 度越来越高，传统的手工分离方法就会导致如下的缺点I、无法分离厚度较薄的电铸金属掩膜板。例如，在电铸金属掩膜板的尺寸达到30微米以下时，手工分离很容易导致金属掩膜板产生永久变形，从而导致所述电铸金属掩膜板无法使用。当电铸金属掩膜板的尺寸进一步变薄时，电铸金属掩膜板甚至不能进行手工握持，极小的握持力也容易导致承压的部分出现永久的变形。2、传统手工分离质量不稳定。传统的手工分离工艺为人工操作。分离的质量好坏与工人的工作熟练程度存在密切的关联性，这就容易导致产品质量的较大波动。
发明内容
本发明旨在解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明需要提供一种金属掩膜板剥离装置，所述金属掩膜板剥离装置可实现对电铸金属掩膜板的自动剥离，以提高金属掩膜板剥离的效率和金属掩膜板的质量。可选地，该金属掩膜板剥离装置可以降低金属掩膜板的制造成本。此外，本发明还需要提供一种金属掩膜板剥离方法，所述金属掩膜板剥离方法可以提高金属掩膜板剥离的效率、提高所述金属掩膜板的质量以及降低所述金属掩膜板的制造成本。根据本发明的一方面，提供了一种金属掩膜板剥离装置，包括基座；第一滑板，所述第一滑板沿所述基座的纵向可移动地设置在所述基座上；第二滑板，所述第二滑板竖向可移动地设置在所述基座上；固定板，所述固定板安装在所述第二滑板的下端，用于固定从所述芯模板上分离的金属掩膜板的自由端；以及导引单元，所述导引单元设置在所述基座上，用于可旋转地导引从芯模板上剥离的金属掩膜板。根据本发明的金属掩膜板剥离装置，可以提高工业自动化程度，同时降低工人的劳动强度。进一步地，可以实现对金属掩膜板的自动剥离，从而特别适于高精度金属掩膜板的剥离，从而可以提高所述金属掩膜板的质量。
另外，根据本发明实施例的金属掩膜板剥离装置可具有如下附加的技术特征根据本发明的一个实施例，所述导引单元包括滚轮支座，所述滚轮支座设置在所述基座上；以及导引滚轮，所述导引滚轮可旋转地设置在所述滚轮支座上，且将所述预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上。根据本发明的一个实施例，所述导引滚轮具有预定的半径，且所述预定的半径落入IOmm至IOOmm之间，从而可实现对金属掩膜板的自动剥离，以提高金属掩膜板剥离的效率和金属掩膜板的质量。根据本发明的一个实施例，所述金属掩膜板剥离装置进一步包括竖向基板，所述竖向基板安装在所述基座上；以及第二导轨，所述第二导轨分别安装在所述竖向基板上用于导引所述第二滑板沿竖向移动。根据本发明的一个实施例，所述金属掩膜板剥离装置进一步包括横梁，所述横梁沿所述基座的横向设置在所述竖向基板之间；以及支撑杆，所述支撑杆沿竖向设置在所述 横梁上，且与所述第二滑板相连，用于拉动所述第二滑板沿竖向移动。根据本发明的一个实施例，所述金属掩膜板剥离装置进一步包括第一驱动装置，所述第一驱动装置设置在所述支撑杆上，且通过所述支撑杆与所述第二滑板相连，用于驱动所述第二滑板沿竖向移动。所述第一驱动装置通过所述支撑杆驱动所述第二滑板沿竖向移动，从而拉动从所述芯模板上分离的金属掩膜板的自由端沿竖向移动。根据本发明的一个实施例，所述第一驱动装置包括气缸、液压缸或电机。根据本发明的一个实施例，所述的金属掩膜板剥离装置进一步包括第三导轨，所述第三导轨安装在所述竖向基板上。根据本发明的一个实施例，所述的金属掩膜板剥离装置进一步包括第二驱动装置，所述第二驱动装置用于驱动所述导引滚轮沿着所述第三导轨可移动，所述第二驱动装置控制使得所述导引滚轮将所述预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上，从而提高所述金属掩膜板的质量。根据本发明的一个实施例，所述第二驱动装置为气缸、液压缸或电机。根据本发明的一个实施例，所述金属掩膜板剥离装置进一步包括第一导轨，所述第一导轨安装在所述基座上用于导引所述第一滑板沿所述纵向移动。根据本发明的一个实施例，所述金属掩膜板剥离装置进一步包括两个压条，所述两个压条分别沿所述纵向设置在所述第一滑板上且在横向上彼此间隔开，用于分别压住放置到所述第一滑板上的形成有金属掩膜板的芯模板。根据本发明的一个实施例，所述金属掩膜板剥离装置进一步包括压紧件，所述压紧件分别设置在所述两个压条上，用于将所述两个压条的端部压紧在所述第一滑板上。根据本发明的一个实施例，所述固定板的、远离第二导轨的一侧形成有挂钩，用于挂住被剥离下来的金属掩膜板的自由端，从而在所述第一驱动装置运动时，拉动从所述芯模板上分离的金属掩膜板的自由端沿竖向移动。本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中图I是根据本发明的一个实施例的金属掩膜板剥离装置的立体示意图；图2是图I中所示金属掩膜板剥离装置的俯视图；图3是图I中所示金属掩膜板剥离装置的主视图；图4是图I中所示金属掩膜板剥离装置的左视图；图5是图I中所示金属掩膜板剥离装置的后视图。
具体实施例方式下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终 相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。在本发明的描述中，术语“纵向”、“横向”、“竖向”、“上”、“下”、“右”、“水平”、“顶”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明而不是要求本发明必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。下面将参照图I-图5来详细描述根据本发明的一个实施例的金属掩膜板剥离装置100。其中图I是根据本发明的一个实施例的金属掩膜板剥离装置100的立体示意图，图2是图I中所示金属掩膜板剥离装置100的俯视图，图3是图I中所示金属掩膜板剥离装置100的主视图，图4是图I所示金属掩膜板剥离装置100的左视图，图5是图I所示金属掩膜板剥离装置100的后视图。下面结合图I-图3描述根据本发明实施例的金属掩膜板剥离装置100。如图I中所示，金属掩膜板剥离装置100包括基座I ;第一滑板3，第一滑板3沿基座I的纵向可移动地设置在基座I上；第二滑板7，第二滑板7竖向可移动地设置在基座I上；固定板8，固定板8安装在第二滑板7的下端，用于固定从芯模板(未示出)上分离的金属掩膜板(未示出)的自由端；以及导引单元，导引单元设置在基座I上，将预定的压紧力施加至金属掩膜板上且导引从芯模板上剥离的金属掩膜板。基座I可以为焊接基座，主要用于承载的目的。如上所述，根据本发明实施例的金属掩膜板剥离装置100，通过将其上形成有金属掩膜板的芯模板设置在第一滑板3上并进行固定，且将金属掩膜板的一个自由端设置在固定板8上,从而可以通过第二滑板7朝向远离基座I的方向运动、从而带动第一滑板3运动。此时，导引单元将预定的压紧力施加在金属掩膜板上，从而可以顺利地实现将金属掩膜板与芯模板的剥离。由此，可以提高工业自动化程度，同时降低工人的劳动强度。进一步地，可以实现对金属掩膜板的自动剥离，因此特别适于高精度金属掩膜板的剥离，进而提高被剥离的金属掩膜板的产品质量。下面结合图I和图4描述根据本发明实施例的导引单元。如图I和图4所示，根据本发明的一个实施例，导引单元可以包括滚轮支座9，滚轮支座9设置在基座I上；以及导引滚轮10，导引滚轮10可旋转地设置在滚轮支座9上，且将预定的压紧力施加至金属掩膜板上。可以通过其他机构来给导引滚轮10施加预定的力，从而可以将力传递给金属掩膜板。
但是，需要说明的是，上述的导引单元仅示出了本发明的一个实施例。本领域的普通技术人员可以理解，导引单元并不限于此，只要导引单元的结构可以实现将预定的压紧力施加在金属掩膜板上，且预定的压紧力被控制成使得金属掩膜板与芯模板的分离线位于同一条直线上即可。根据本 发明的一个实施例，导引滚轮10具有预定的半径，且预定的半径落入IOmm至IOOmm之间，从而可以最优地实现对金属掩膜板的自动剥离，以提高金属掩膜板剥离的效率和被剥离之后的金属掩膜板的质量。如图I所示，根据本发明的一个实施例，金属掩膜板剥离装置100进一步包括竖向基板5，竖向基板5安装在基座I上；以及第二导轨6，第二导轨6分别安装在竖向基板5上用于导引第二滑板7沿竖向移动。竖向基板5和第二导轨6主要用于实现第二滑板7的竖向运动。根据本发明的一个实施例，金属掩膜板剥离装置100进一步包括横梁12，横梁12沿基座I的横向设置在竖向基板5之间；以及支撑杆13，支撑杆13沿竖向设置在横梁12上，且与第二滑板7相连用于拉动第二滑板7沿竖向移动。横梁12和支撑杆13主要用于增强第二滑板7在竖向的刚度。支撑杆13沿着竖向可以形成有槽，其中第二滑板7可以通过在槽内的滑块而进行滑动的方式连接至支撑杆13。如图I所示，根据本发明的一个实施例，金属掩膜板剥离装置100进一步包括第一驱动装置11。第一驱动装置11设置在支撑杆13上，且通过支撑杆13与第二滑板7相连，用于驱动第二滑板7沿竖向移动，从而拉动从芯模板上分离的金属掩膜板的自由端沿竖向移动。此处，通过设置第一驱动装置11，从而可以实现第二滑板7沿着竖向的主动驱动，并带动第一滑板3沿着纵向随动，从而实现金属掩膜板的剥离。根据本发明实施例的第一驱动装置11可以包括气缸、液压缸或电机。本领域的普通技术人员可以理解，第一驱动装置11不限于此，其他任何能够驱动第二滑板7沿竖向移动的驱动器都可以用作第一驱动装置11。如图I和图4所示，根据本发明的一个实施例，金属掩膜板剥离装置100可以进一步包括第三导轨15，第三导轨15安装在竖向基板5上。根据本发明的一个实施例，金属掩膜板剥离装置100进一步包括第二驱动装置14，第二驱动装置14用于驱动导引滚轮10沿着第三导轨15可移动，第二驱动装置14控制成使得导引滚轮10将预定的压紧力施加至金属掩膜板上，从而金属掩膜板与芯模板的分离线位于同一条直线上，由此，极大地提高了金属掩膜板的剥离速度并提高被剥离的金属掩膜板的质量。根据本发明实施例的第二驱动装置14可以为气缸、液压缸或电机。本领域的普通技术人员可以理解，第二驱动装置14不限于此，其他任何能够控制导引滚轮10所施加的预定的压紧力的大小的驱动装置均可以用作第二驱动装置14。如图2所示，根据本发明的一个实施例，金属掩膜板剥离装置100进一步包括第一导轨2,第一导轨2安装在基座I上用于导引第一滑板3沿纵向移动。第一导轨可以为光轴，只要其允许第一滑板3在其上光滑地运动即可。金属掩膜板剥离装置100还可以进一步包括两个压条4。两个压条4分别沿纵向设置在第一滑板3上且在横向上彼此间隔开，用于分别压住放置到第一滑板3上的形成有金属掩膜板的芯模板。根据本发明的一个实施例，金属掩膜板剥离装置100进一步包括压紧件16，压紧件16分别设置在两个压条4上，用于将两个压条4的端部压紧在第一滑板3上。如图4中所示，压紧件16可以为扣紧扳手。如图I所示，根据本发明的一个实施例，固定板8的、远离第二导轨6的一侧形成有挂钩17，用于挂住被剥离下来的金属掩膜板的自由端，从而在第一驱动装置11运动时，拉动从芯模板上分离的金属掩膜板的自由端沿竖向移动。下面结合图I-图5详细描述本发明的金属掩膜板剥离装置100的操作过程。首先，将待剥离金属掩膜板放在第一滑板3上，调节压紧件16，使两个压条4的端部压紧到第一滑板3上，从而固定待剥离金属掩膜板。从待剥离金属掩膜板上手动剥离一小段金属掩膜板，以形成引导边(未示出)，引导边上形成有一排孔(未示出)，且将孔固定在固定板8的挂钩17上。此后，通过第二驱动装置14来调节预定压紧力，以使得金属掩膜 板与芯模板的分离线位于同一条直线上。接着，通过第一驱动装置11驱动第二滑板7沿着竖向朝向远离基座I的方向运动，然后第二滑板7通过固定板8拉动金属掩膜板向上运动。同时，第一滑板3被动地向右运动,直至金属掩膜板完全从芯模板上剥离下来。需要说明的是，上述金属掩膜板剥离装置100及其操作过程仅是本发明的一些示例，本领域的普通技术人员可以理解，在实际应用中，剥离后金属掩膜板的运动方向可以是竖向、水平方向、或其他任何方向，相应地芯模板的运动方向可以是水平方向、竖向、或其他任何方向。金属掩膜板的运动方向和芯模板的运动方向既可以是正交的，也可以是非正交的。金属掩膜板的运动和芯模板的运动既可以是电动的，也可以是手动的，既可以是主动的，也可以是被动的。此外，滚轮压紧芯模板与金属掩膜板的分离面的驱动方式既可以是气动的、电动的或其他方式。总之，根据本发明实施例的金属掩膜板剥离装置100可对高精度金属掩膜板进行自动剥离，有利于提高产品质量，提高工业自动化程度，同时降低工人的劳动强度。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。
权利要求
1.一种金属掩膜板剥离装置，其特征在于，包括 基座; 第一滑板，所述第一滑板沿所述基座的纵向可移动地设置在所述基座上； 第二滑板，所述第二滑板沿竖向可移动地设置在所述基座上； 固定板，所述固定板安装在所述第二滑板的下端，用于固定从所述芯模板上分离的金属掩膜板的自由端； 导引单元，所述导引单元设置在所述基座上，将预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上且导引从芯模板上剥离的金属掩膜板。
2.根据权利要求I所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，所述导引单元包括 滚轮支座，所述滚轮支座设置在所述基座上； 导引滚轮，所述导引滚轮可旋转地设置在所述滚轮支座上，且将所述预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上。
3.根据权利要求2所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，所述导引滚轮具有预定的半径，且所述预定的半径落入IOmm至IOOmm之间。
4.根据权利要求I所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括 竖向基板，所述竖向基板安装在所述基座上； 第二导轨，所述第二导轨分别安装在所述竖向基板上用于导引所述第二滑板沿竖向移动。
5.根据权利要求4所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括 横梁，所述横梁沿所述基座的横向设置在所述竖向基板之间； 支撑杆，所述支撑杆沿竖向设置在所述横梁上，且与所述第二滑板相连用于拉动所述第二滑板沿竖向移动。
6.根据权利要求5所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括 第一驱动装置，所述第一驱动装置设置在所述支撑杆上，且通过所述支撑杆与所述第二滑板相连，用于驱动所述第二滑板沿竖向移动。
7.根据权利要求6所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，所述第一驱动装置包括气缸、液压缸或电机。
8.根据权利要求4所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括 第三导轨，所述第三导轨安装在所述竖向基板上。
9.根据权利要求8所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括 第二驱动装置，所述第二驱动装置用于驱动所述导引滚轮沿着所述第三导轨可移动，所述第二驱动装置控制使得所述导引滚轮将所述预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上。
10.根据权利要求9所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，所述第二驱动装置为气缸、液压缸或电机。
11.根据权利要求I所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括 第一导轨，所述第一导轨安装在所述基座上用于导引所述第一滑板沿所述纵向移动。
12.根据权利要求I所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括 两个压条，所述两个压条分别沿所述纵向设置在所述第一滑板上且在横向上彼此间隔开，用于分别压住放置到所述第一滑板上的形成有金属掩膜板的芯模板。
13.根据权利要求12所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，进一步包括 压紧件，所述压紧件分别设置在所述两个压条上，用于将所述两个压条的端部压紧在所述第一滑板上。
14.根据权利要求4所述的金属掩膜板剥离装置，其特征在于，所述固定板的、远离第二导轨的一侧形成有挂钩，用于挂住被剥离下来的金属掩膜板的自由端。
全文摘要
本发明公开了一种金属掩膜板剥离装置，包括基座；第一滑板，所述第一滑板沿所述基座的纵向可移动地设置在所述基座上；第二滑板，所述第二滑板沿竖向可移动地设置在所述基座上；固定板，所述固定板安装在所述第二滑板的下端，用于固定从所述芯模板上分离的金属掩膜板的自由端；以及导引单元，所述导引单元设置在所述基座上，将预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上且导引从芯模板上剥离的金属掩膜板。本发明的金属掩膜板剥离装置可对高精度金属掩膜板进行自动剥离，有利于提高产品质量，提高工业自动化程度，同时降低工人的劳动强度。
文档编号C25D1/20GK102719860SQ20111007927
公开日2012年10月10日 申请日期2011年3月31日 优先权日2011年3月31日
发明者程晔 申请人:昆山思拓机器有限公司