专利名称：一种分离金属掩膜板的方法
技术领域：
本发明属于金属掩膜板制造领域，具体地涉及一种改进的分离金属掩膜板的方法。
背景技术：
电铸法是一种高精度的金属掩膜板制作技术，其原理是在芯模板上通过电化学材料生长的方法而制备一层金属薄板，即电铸金属掩膜板。此后，需要将所形成的电铸金属掩膜板从该芯模板上分离下来，并进行后续工艺处理并形成最终的产品。由于电铸金属掩膜板是在芯模板上生长出来的，从而在二者之间存在一层结合力，传统的分离设备和方法均为利用人工来进行分离。在电铸金属掩膜板精度较低且厚度较大的情况下，可以采用传统上的手工剥离方法。但是，随着技术的进步和工业要求的不断提高，电铸金属掩膜板的厚度越来越薄，且精度越来越高，传统的手工分离方法就会导致如下的缺点I、无法分离厚度较薄的电铸金属掩膜板。例如，在电铸金属掩膜板的尺寸达到30微米以下时，手工分离很容易导致金属掩膜板产生永久变形，从而导致所述电铸金属掩膜板无法使用。当电铸金属掩膜板的尺寸进一步变薄时，电铸金属掩膜板甚至不能进行手工握持，极小的握持力也容易导致承压的部分出现永久的变形。2、传统手工分离质量不稳定。传统的手工分离工艺为人工操作。分离的质量好坏与工人的工作熟练程度存在密切的关联性，这就容易导致产品质量的较大波动。
发明内容
本发明旨在解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明还需要提供一种金属掩膜板剥离方法，所述金属掩膜板剥离方法可以提高金属掩膜板剥离的效率、提高所述金属掩膜板的质量以及降低所述金属掩膜板的制造成本。根据本发明的一方面，提供了一种分离金属掩膜板的方法。所述方法可以包括如下步骤(1)将形成有金属掩膜板的芯模板放置第一滑板上，所述第一滑板沿着第一方向可滑动；(2)将具有预定半径的导引滚轮以预定的压紧力施加在所述金属掩膜板上；(3)将金属掩膜板的一个自由端沿着第二方向绕所述导引滚轮朝向远离所述第一滑板的方向移动，以将所述金属掩膜板从所述芯模板分离。在本发明的上述方法中，通过控制沿着所述导引滚轮的预定半径和所述预定的压紧力，从而可以控制金属掩膜板剥离过程中金属掩膜板的弯曲半径以及由此进一步地控制金属掩膜板与芯模板之间的分离线，使分离线在分离过程始终在一条直线上，从而可以顺利地分离金属掩膜板，且由于此过程中采用了机械的方式进行剥离，从而使得被剥离的金属掩膜板的质量非常稳定。另外，根据本发明实施例的分离金属掩膜板的方法还具有如下附加技术特征
根据本发明的一个实施例，所述第二方向垂直于所述第一方向。根据本发明的一个实施例，所述步骤(3)进一步包括如下步骤(3. I)从所述金属掩膜板的所述自由端形成引导边，且将所述引导边连接至沿着所述第二方向设置的第二滑板上；以及(3. 2)沿着所述第二方向朝向远离所述第一滑板的方向进行运动。根据本发明的一个实施例，所述引导边形成有引导孔，以挂在形成有挂钩的第二滑板上。根据本发明的一个实施例，所述导引滚轮的预定半径为大于IOmm且小于100mm，从而可实现对金属掩膜板的自动剥离，以最优地提高金属掩膜板剥离的效率和金属掩膜板 的质量。由此，通过控制所述导引滚轮的预定半径，从而理想地将所述金属掩膜板从所述芯模板上剥离。根据本发明的一个实施例，所述预定的压紧力控制成使所述金属掩膜板与芯模板的分离线位于同一条直线上。根据本发明的一个实施例，所述芯模板被可拆卸地固定在所述第一滑板上。根据本发明的另一方面，提供了一种分离金属掩膜板的方法，所述方法在这样的金属掩膜板剥离装置上进行，所述金属掩膜板剥离装置包括基座；第一滑板，所述第一滑板沿所述基座的纵向可移动地设置在所述基座上；第二滑板，所述第二滑板竖向可移动地设置在所述基座上；固定板，所述固定板安装在所述第二滑板的下端，用于固定从所述芯模板上分离的金属掩膜板的自由端；以及导引单元，所述导引单元设置在所述基座上，将预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上且导引从芯模板上剥离的金属掩膜板，所述方法包括(I)将形成有金属掩膜板的芯模板设置在所述第一滑板上；(2)将金属掩膜板的自由端固定至所述固定板；(3)通过导引单元将所述预定的压紧力施加至所述金属掩膜板；以及(4)沿着所述竖向方向朝向远离所述基座的方向移动所述第二滑板，以将所述金属掩膜板从所述芯模板分离。根据本发明的一个实施例，所述预定的压紧力控制成使所述金属掩膜板与芯模板的分离线位于同一条直线上。根据本发明的一个实施例，所述导引单元包括滚轮支座，所述滚轮支座设置在所述基座上；以及导引滚轮，所述导引滚轮可旋转地设置在所述安装在所述滚轮支座上，且将所述预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上。根据本发明的一个实施例，所述导引滚轮具有预定的半径，且所述预定半径大于IOmm且小于100mm，从而可实现对金属掩膜板的自动剥离，以最优地提高金属掩膜板剥离的效率和金属掩膜板的质量。本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中图I显示了根据本发明的一个实施例的用于分离金属掩膜板的方法；
图2是根据本发明的一个实施例的金属掩膜板剥离装置的立体示意图；图3是图2所示金属掩膜板剥离装置的俯视图；图4是图2所示金属掩膜板剥离装置的主视图；图5是图2所示金属掩膜板剥离装置的左视图；以及图6是图2所示金属掩膜板剥离装置的后视图。
具体实施例方式下面详细描述本发明的实施例，所述实 施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。 在本发明的描述中，术语“纵向”、“横向”、“竖向”、“上”、“下”、“右”、“水平”、“顶”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明而不是要求本发明必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。根据本发明的一个实施例，主要的发明构思在于，在金属掩膜板的剥离过程中控制芯模板的弯曲半径；且控制芯模板与金属掩膜板的分离线，并使得分离线在分离过程中始终位于同一条直线上。下面将参照图I来描述根据本发明的一个实施例的用于分离金属掩膜板的方法。如图I中所示,所述方法包括如下步骤SlOO :将形成有金属掩膜板的芯模板放置第一滑板上，所述第一滑板沿着第一方向可滑动。S200:将具有预定半径的导引滚轮以预定的压紧力施加在所述金属掩膜板上。S300 :将金属掩膜板的一个自由端沿着第二方向绕所述导引滚轮朝向远离所述第一滑板的方向移动，以将所述金属掩膜板从所述芯模板分离，所述第二方向垂直于所述第
一方向。此处，可以将所述第二滑板作为主动驱动，以拉动所述第一滑板沿着第一方向随动运动。在本发明的上述方法中，通过控制沿着所述导引滚轮的预定半径和所述预定的压紧力，从而可以控制金属掩膜板剥离过程中金属掩膜板的弯曲半径以及由此进一步地控制金属掩膜板与芯模板之间的分离线，使分离线在分离过程始终在一条直线上，从而可以顺利地分离金属掩膜板，且由于此过程中采用了机械的方式进行剥离，从而使得被剥离的金属掩膜板的质量非常稳定。在本发明的一个实施例中，所述第一方向和所述第二方向相垂直，由此可以在相互垂直的方向上方便地将金属掩膜板从芯模板分离。根据本发明的一个实施例，所述步骤(3)进一步包括如下步骤(3. I)从所述金属掩膜板的所述自由端形成引导边，且将所述引导边连接至沿着所述第二方向设置的第二滑板上；以及(3.2)沿着所述第二方向朝向远离所述第一滑板的方向进行运动。所述引导边可以形成有引导孔，以挂在形成有挂钩的第二滑板上。根据本发明的一个实施例，所述导引滚轮的预定半径大于IOmm且小于100mm，从而可实现对金属掩膜板的自动剥离，以最优地提高金属掩膜板剥离的效率和金属掩膜板的质量。由此，通过控制所述导引滚轮的预定半径，从而理想地将所述金属掩膜板从所述芯模板上剥离。此外，所述预定的压紧カ需要控制成、使得所述金属掩膜板与芯模板的分离线位于同一条直线上。根据本发明的一个实施例，所述芯模板被可拆卸地固定在所述第一滑板上。需要说明的是，此处的“第一方向”和“第二方向”只是出于示例说明的目的，普通技术人员可以根据实际的需要，将所述第一方向和所述第二方向调整到合适的方位，只要其能够实现金属掩膜板的顺利分离即可。需要说明的是，采用本发明的一个实施例的用于分离金属掩膜板的方法，可以设计相应的机械结构，该机械结构不仅可以用于简单剥离工具，也可以用于自动剥离设备，从而减少了人工的操作，既可以降低工人的劳动强度，又可以提高产品生产的自动化程度，提
升产品质量。
下面将提供一种实施上述分离金属掩膜板方法的金属掩膜板剥离装置100，其中图2是根据本发明的一个实施例的金属掩膜板剥离装置100的立体示意图，图3是图2中所示金属掩膜板剥离装置100的俯视图，图4是图2中所示金属掩膜板剥离装置100的主视图，图5是图I所示金属掩膜板剥离装置100的左视图，图6是图2所示金属掩膜板剥离装置100的后视图。下面结合图3 图5描述根据本发明实施例的金属掩膜板剥离装置100。如图2中所示，金属掩膜板剥离装置100包括基座I ;第一滑板3，第一滑板3沿基座I的纵向可移动地设置在基座I上；第二滑板7，第二滑板7竖向可移动地设置在基座I上；固定板8，固定板8安装在第二滑板7的下端，用于固定从芯模板(未示出)上分离的金属掩膜板(未示出)的自由端；导引单元，导引单元设置在基座I上，将预定的压紧カ施加至金属掩膜板上且导引从芯模板上剥离的金属掩膜板。基座I可以为焊接基座，主要用于承载的目的。如上所述，根据本发明实施例的金属掩膜板剥离装置100，通过将其上形成有金属掩膜板的芯模板设置在第一滑板3上并进行固定，且将金属掩膜板的ー个自由端设置在固定板8上,从而可以通过第二滑板7朝向远离基座I的方向运动、从而带动第一滑板3运动。此时，导引単元将预定的压紧カ施加在金属掩膜板上，从而可以顺利地实现将金属掩膜板与芯模板的剥离。由此，可以提高工业自动化程度，同时降低工人的劳动强度。进ー步地，可以实现对金属掩膜板的自动剥离，因此特别适于高精度金属掩膜板的剥离，进而提高被剥离的金属掩膜板的产品质量。下面结合图2和图5描述根据本发明实施例的导引单元。如图2和图5所示，根据本发明的一个实施例，导引单元可以包括滚轮支座9，滚轮支座9设置在基座I上；以及导引滚轮10，导引滚轮10可旋转地设置在安装在滚轮支座9上，且将预定的压紧カ施加至金属掩膜板上。可以通过其他机构来给导引滚轮10施加预定的力，从而可以将カ传递给金属掩膜板。但是，需要说明的是，上述的导引单元仅示出了本发明的一个实施例。本领域的普通技术人员可以理解，导引单元并不限于此，只要导引单元的结构可以实现将预定的压紧力施加在金属掩膜板上，且预定的压紧カ被控制成使得金属掩膜板与芯模板的分离线位于同一条直线上即可。根 据本发明的一个实施例，导引滚轮10具有预定的半径，且预定的半径落入IOmm至IOOmm之间，从而可以最优地实现对金属掩膜板的自动剥离，以提高金属掩膜板剥离的效率和被剥离之后的金属掩膜板的质量。如图2所示，根据本发明的一个实施例，金属掩膜板剥离装置100进ー步包括竖向基板5，竖向基板5安装在基座I上；以及第ニ导轨6，第二导轨6分别安装在竖向基板5上用于导引第二滑板7沿竖向移动。竖向基板5和第二导轨6主要用于实现第二滑板7的竖向运动。根据本发明的一个实施例，金属掩膜板剥离装置100进ー步包括横梁12，横梁12沿基座I、横向设置在竖向基板5之间；以及支撑杆13，支撑杆13沿竖向设置在横梁12上，且与第二滑板7相连用于拉动第二滑板7沿竖向移动。横梁12和支撑杆13主要用于增强第二滑板7在竖向的刚度。支撑杆13沿着竖向可以形成有槽，其中第二滑板7可以通过在槽内的滑块而进行滑动的方式连接至支撑杆13。如图2所示，根据本发明的一个实施例，金属掩膜板剥离装置100进ー步包括第一驱动装置11。第一驱动装置11设置在支撑杆13上，且通过支撑杆13与第二滑板7相连，用于驱动第二滑板7沿竖向移动，从而拉动从芯模板上分离的金属掩膜板的自由端沿竖向移动。此处，通过设置第一驱动装置11，从而可以实现第二滑板7沿着竖向的主动驱动，并带动第一滑板3沿着纵向随动，从而实现金属掩膜板的剥离。根据本发明实施例的第一驱动装置11可以包括气缸、液压缸或电机。本领域的普通技术人员可以理解，第一驱动装置11不限于此，其他任何能够驱动第二滑板7沿竖向移动的驱动器都可以用作第一驱动装置11。如图2和图5所示，根据本发明的一个实施例，金属掩膜板剥离装置100可以进ー步包括第三导轨15，第三导轨15安装在竖向基板5上。根据本发明的一个实施例，金属掩膜板剥离装置100进ー步包括第二驱动装置14，第二驱动装置14用于驱动导引滚轮10沿着第三导轨15可移动，第二驱动装置14控制成使得导引滚轮10将预定的压紧カ施加至金属掩膜板上，从而金属掩膜板与芯模板的分离线位于同一条直线上，由此，极大地提高了金属掩膜板的剥离速度以及被剥离的金属掩膜板的质量。根据本发明实施例的第二驱动装置14可以为气缸、液压缸或电机。本领域的普通技术人员可以理解，第二驱动装置14不限于此，其他任何能够控制导引滚轮10所施加的预定的压紧カ的大小的驱动装置均可以用作第二驱动装置14。如图3所示，根据本发明的一个实施例，金属掩膜板剥离装置100进ー步包括第一导轨2,第一导轨2安装在基座I上用于导引第一滑板3沿纵向移动。第一导轨可以为光轴，只要其允许第一滑板3在其上光滑地运动即可。金属掩膜板剥离装置100还可以进ー步包括两个压条4。两个压条4分别沿纵向设置在第一滑板3上且在横向上彼此间隔开，用于分别压住放置到第一滑板3上的形成有金属掩膜板的芯模板。根据本发明的一个实施例，金属掩膜板剥离装置100进ー步包括压紧件16，压紧件16分别设置在两个压条4上，用于将两个压条4的端部压紧在第一滑板3上。如图5中所示，压紧件16可以为扣紧扳手。如图2所示，根据本发明的一个实施例，固定板8的、远离第二导轨6的ー侧形成有挂钩17，用于挂住被剥离下来的金属掩膜板的自由端，从而在第一驱动装置11运动吋，拉动从芯模板上分离的金属掩膜板的自由端沿竖向移动。下面结合图3-图6详细描述本发明的金属掩膜板剥离装置100的操作过程。首先，将待剥离金属掩膜板放在第一滑板3上，调节压紧件16，使两个压条4的端部压紧到第一滑板3上，从而固定待剥离金属掩膜板。从待剥离金属掩膜板上手动剥离一小段金属掩膜板，以形成引导边(未示出)，引导边上形成有ー排孔( 未示出)，且将孔固定在固定板8的挂钩17上。此后，通过第二驱动装置14来调节预定压紧力，以使得金属掩膜板与芯模板的分离线位于同一条直线上。接着，通过第一驱动装置11驱动第二滑板7沿着竖向朝向远离基座I的方向运动，然后第二滑板7通过固定板8拉动金属掩膜板向上运动。同时，第一滑板3被动地向右运动,直至金属掩膜板完全从芯模板上剥离下来。与此相对应地，本发明提供了ー种与所述金属掩膜板剥离装置100相对应的分离金属掩膜板的方法。所述分离金属掩膜板的方法包括将形成有金属掩膜板的芯模板设置在所述第一滑板3上；将金属掩膜板的自由端固定至所述固定板8 ;通过导引单元将所述预定的压紧カ施加至所述金属掩膜板；以及沿着所述竖向方向朝向远离所述基座I的方向移动所述第二滑板7，以将所述金属掩膜板从所述芯模板分离。所述预定的压紧カ控制成所述金属掩膜板与芯模板的分离线位于同一条直线上。优选地，所述导引滚轮10具有预定的半径，且所述预定半径为大于IOmm且小于100mm，从而可实现对金属掩膜板的自动剥离，以最优地提高金属掩膜板剥离的效率和金属掩膜板的质量。需要说明的是，上述金属掩膜板剥离装置及其操作过程仅是本发明的ー些示例，本领域的普通技术人员可以理解，在实际应用中，剥离后金属掩膜板的运动方向可以是竖向、水平方向、或其他任何方向，相应地芯模板的运动方向可以是水平方向、竖向、或其他任何方向。金属掩膜板的运动方向和芯模板的运动方向既可以是正交的，也可以是非正交的。金属掩膜板的运动和芯模板的运动既可以是电动的，也可以是手动的，既可以是主动的，也可以是被动的。此外，滚轮压紧芯模板与金属掩膜板的分离面的驱动方式既可以是气动的、电动的或其他方式。总之，根据本发明实施例的金属掩膜板剥离装置可对高精度金属掩膜板进行自动剥离，有利于提高产品质量，提高工业自动化程度，同时降低工人的劳动强度。在本说明书的描述中，參考术语“ー个实施例”、“一些实施例”、“示例”、或“ー些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少ー个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的ー个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解在不脱离本发明的原理和宗g的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。
权利要求
1.一种分离金属掩膜板的方法，其特征在于，包括如下步骤 (1)将形成有金属掩膜板的芯模板放置第一滑板上，所述第一滑板沿着第一方向可滑动； (2)将具有预定半径的导引滚轮以预定的压紧力施加在所述金属掩膜板上；以及 (3)将金属掩膜板的一个自由端沿着第二方向绕所述导引滚轮朝向远离所述第一滑板的方向移动，以将所述金属掩膜板从所述芯模板分离。
2.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述第二方向垂直于所述第一方向。
3.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述步骤(3)进一步包括如下步骤 (3. I)从所述金属掩膜板的所述自由端形成引导边，且将所述引导边连接至沿着所述第二方向设置的第二滑板上；以及 (3. 2)沿着所述第二方向朝向远离所述第一滑板的方向进行运动。
4.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述引导边形成有引导孔，以挂在形成有挂钩的第二滑板上。
5.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述导引滚轮的预定半径大于IOmm且小于 10Omnin
6.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述预定的压紧力控制成使所述金属掩膜板与芯模板的分离线位于同一条直线上。
7.根据权利要求I所述的方法，其特征在于，所述芯模板被可拆卸地固定在所述第一滑板上。
8.一种分离金属掩膜板的方法，所述方法在金属掩膜板剥离装置上进行，所述金属掩膜板剥离装置包括基座；第一滑板，所述第一滑板沿所述基座的纵向可移动地设置在所述基座上；第二滑板，所述第二滑板竖向可移动地设置在所述基座上；固定板，所述固定板安装在所述第二滑板的下端，用于固定从所述芯模板上分离的金属掩膜板的自由端；以及导引单元，所述导引单元设置在所述基座上，将预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上且导引从芯模板上剥离的金属掩膜板，所述方法包括 (1)将形成有金属掩膜板的芯模板设置在所述第一滑板上； (2)将金属掩膜板的自由端固定至所述固定板； (3)通过导引单元将所述预定的压紧力施加至所述金属掩膜板； (4)沿着所述竖向方向朝向远离所述基座的方向移动所述第二滑板，以将所述金属掩膜板从所述芯模板分离。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述预定的压紧力控制成使所述金属掩膜板与芯模板的分离线位于同一条直线上。
10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述导引单元包括 滚轮支座，所述滚轮支座设置在所述基座上；以及 导引滚轮，所述导引滚轮可旋转地设置在所述安装在所述滚轮支座上，且将所述预定的压紧力施加至所述金属掩膜板上。
11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述导引滚轮具有预定的半径，且所述预定半径大于IOmm且小于100mm。
全文摘要
本发明公开了一种分离金属掩膜板的方法，包括如下步骤(1)将形成有金属掩膜板的芯模板放置第一滑板上，所述第一滑板沿着第一方向可滑动；(2)将具有预定半径的导引滚轮以预定的压紧力施加在所述金属掩膜板上；以及(3)将金属掩膜板的一个自由端沿着第二方向绕所述导引滚轮朝向远离所述第一滑板的方向移动，以将所述金属掩膜板从所述芯模板分离。根据本发明的方法，可实现对高精度金属掩膜板进行自动剥离，从而提高了产品的质量和制造效率，同时降低工人的劳动强度，降低了成本。
文档编号C25D1/20GK102719861SQ20111007927
公开日2012年10月10日 申请日期2011年3月31日 优先权日2011年3月31日
发明者程晔 申请人:昆山思拓机器有限公司