技术编号:5288086
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及相对于对例如平板显示器(FPD)用的玻璃基板等被处 理体进行等离子体处理时使用的等离子体处理容器进行阳极氧化处理 (防蚀铝处理alumite)的。背景技术在以液晶显示器(LCD)为代表的FPD的制造过程中,在真空下 对玻璃基板等被处理体实施蚀刻、成膜等各种处理。为了利用等离子 体进行上述处理,使用具有能够抽真空的处理容器的等离子体处理装 置。作为等离子体处理容器的材料,通常使用铝。在进行等离子体处理时,存在由于等离子体、腐蚀性气体的作用 导致主要...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。