技术编号:5292434
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种高纯硅源钢瓶,其主要用于充装制作超大规模集成电路用硅源气体。技术背景 高纯三氯硅烷、高纯四氯化硅是电子工业用的一种特种化学品,主要用于硅外延 和生产集成电路上氧化硅膜、氮化硅膜、等各种含硅薄膜的制备,是制作大规模集成电路必 不可少的重要材料。随着电子工业的高速发展,集成电路的集成度越来越高、线宽越来越 窄,对所使用的硅源气体的纯度要求越来越高。能生产出高纯硅源气体,必须有高纯硅源包 装,没有高纯硅源包装,生产出来的高纯硅源气体用户也不能使...
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