专利名称：一种高纯硅源钢瓶的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种高纯硅源钢瓶，其主要用于充装制作超大规模集成电路用硅
源气体。
技术背景 高纯三氯硅烷、高纯四氯化硅是电子工业用的一种特种化学品，主要用于硅外延 和生产集成电路上氧化硅膜、氮化硅膜、等各种含硅薄膜的制备，是制作大规模集成电路必 不可少的重要材料。随着电子工业的高速发展，集成电路的集成度越来越高、线宽越来越 窄，对所使用的硅源气体的纯度要求越来越高。能生产出高纯硅源气体，必须有高纯硅源包 装，没有高纯硅源包装，生产出来的高纯硅源气体用户也不能使用。
发明内容 本实用新型的目的是提供一种高纯硅源钢瓶，其是对不锈钢瓶内壁采用纯化技 术，外壁采用喷砂技术，使钢瓶充装高纯产品，不降低高纯产品的等级，外壁不受腐蚀，保证 整体美观，保证运输安全和使用。 本实用新型的技术方案是它包括瓶体、底座、盖板和瓶帽组成，其特征是所述 瓶体采用不锈钢材质制作，瓶体的内壁经过电化学抛光，外壁经喷砂处理，这样的钢瓶充装 高纯产品，不降低高纯产品的等级，外壁不受腐蚀，保证整体美观，保证运输安全和使用。在 瓶体的底部开有放水孔；所述在防水孔的内部设置有堵头，在瓶体的下端设置有底座，供装 卸使用，两个底座正中开有方孔，可供带轮子的叉车使用。所述在瓶口处设置法兰，在盖板 的上面设置法兰，盖板与瓶体通过法兰由螺丝连接，阀门和压力表通过螺丝固定在盖板上； 所述瓶帽采用电弧焊接，不接触物料，外壁喷砂处理，内壁不处理，用4个螺栓将瓶帽和瓶 体连接起来。
有益效果 本钢瓶内壁经过电化学抛光，可保证充入的硅源气体同充入前质量完全相同，存 放一年半以内质量不受影响。可从根本上解决包装污染产品的难题，用户使用更加放心。外 壁经喷砂处理，腐蚀性气体、液体沾上瓶外壁，不会出现斑点，使瓶外观能始终保持新瓶的 模样。瓶体底部设置放水孔，可方便废液排放、废气置换及清洗液排放，减轻工人的劳动强 度。底座中间开方孔，可适应不同叉车的装卸。
图1为本实用新型的结构图。 其中1、瓶体 2、瓶帽 3、底座 4、放水孔 5、盖板6、法兰 7、阀门 8、压力 表9、堵头
具体实施方式
参照附图对本实用新型做进一步的说明，它包括瓶体(1)、底座(3)、盖板(5)和瓶 帽(2)组成，其特征是所述瓶体(1)采用不锈钢材质制作，在瓶体(1)的底部开有放水孔 (4);所述在防水孔(4)的内部设置有堵头(9)，在瓶体(1)的下端设置有底座(3)，两个底 座正中开有方孔，所述在瓶口处设置法兰(6)，在盖板(5)的上面设置法兰(6)，盖板(5)与 瓶体(1)通过法兰由螺丝连接，阀门(7)和压力表(8)通过螺丝固定在盖板(5)上；所述瓶 帽(2)用4个螺栓将瓶帽(2)和瓶体(1)连接起来。
权利要求一种高纯硅源钢瓶，它包括瓶体(1)、底座(3)、盖板(5)和瓶帽(2)组成，其特征是所述瓶体(1)采用不锈钢材质制作，在瓶体(1)的底部开有放水孔(4)；所述在防水孔(4)的内部设置有堵头(9)，在瓶体(1)的下端设置有底座(3)，两个底座正中开有方孔，所述在瓶口处设置法兰(6)，在盖板(5)的上面设置法兰(6)，盖板(5)与瓶体(1)通过法兰由螺丝连接，阀门(7)和压力表(8)通过螺丝固定在盖板(5)上；所述瓶帽(2)用4个螺栓将瓶帽(2)和瓶体(1)连接起来。
专利摘要本实用新型的目的是提供一种高纯硅源钢瓶，它包括瓶体、底座、盖板和瓶帽组成，本钢瓶内壁经过电化学抛光，可保证充入的硅源气体同充入前质量完全相同，存放一年半以内质量不受影响。可从根本上解决包装污染产品的难题，用户使用更加放心。外壁经喷砂处理，腐蚀性气体、液体沾上瓶外壁，不会出现斑点，使瓶外观能始终保持新瓶的模样。瓶体底部设置放水孔，可方便废液排放、废气置换及清洗液排放，减轻工人的劳动强度。底座中间开方孔，可适应不同叉车的装卸。
文档编号C25F3/24GK201462387SQ20092008959
公开日2010年5月12日 申请日期2009年4月15日 优先权日2009年4月15日
发明者刘见喜, 史隽涛, 宋兆德 申请人:沁阳国顺硅源光电气体有限公司