一种高纯六硼化硅粉末制备方法

文档序号:10711742阅读:873来源:国知局
一种高纯六硼化硅粉末制备方法
【专利摘要】本发明涉及一种六硼化硅粉末制备方法,包括如下步骤:将平均粒度小于10微米的硅粉和小于20微米的硼粉按配比称重,球磨混合均匀,装入陶瓷坩埚,装入合成炉,通入氩气并滴入SiCl4,加热到1500?1600℃,冷却后球磨得到所需的SiB6粉末。本发明方法能制备化学纯度高,物相纯净的单相SiB6粉末。
【专利说明】
一种高纯六硼化硅粉末制备方法
技术领域
[0001]本发明属于特种粉末制备技术领域,涉及一种以粉末为原料制备六硼化硅粉末的方法。
【背景技术】
[0002]六硼化硅是一种特殊材料,主要应用在电子和军工方面的产品开发中。对其要求化学纯度高,物相是单相六硼化硅。
[0003]从原理上看,燃烧合成法或自蔓延高温合成法是一种利用元素/化合物反应放热来合成金属间化合物的方法,是合成特殊粉末的常用方法。但硼硅体系反应热效应低,实验发现自我维持的反应难以发生。因此需要开发新的方法合成这种六硼化硅粉末。

【发明内容】

[0004]本发明提供一种制备六硼化硅粉末的方法,包括如下步骤:
1)、将平均粒度10微米以下的硅粉和20微米以下的硼粉以陶瓷球磨罐球磨混合均匀;
2)、装入坩祸后,放入气体保护炉,通入氩气,升温到1400-1600°C,保温50—70分钟;
3)、在开始保温时向炉内滴入SiCl4,每分钟3-5ml,滴入时间9—11分钟;
4)冷却后用陶瓷罐球磨破碎得到最终SiB6粉末产品;
其中步骤I)中所述硅粉和硼粉的重量比为2.85-2.95:7。
[0005]实验发现,单纯加热硼与硅的粉末,即使加热到较高温度,也不能得到单相的六硼化硅。主要原因是硼和硅活性大,表面有氧化物,阻碍了反应的进行。本发明提出加入四氯化硅,其高温分解后产生活性大的硅提高反应形核速度和反应形核率;同时产生的氯对表面的氧化物也有刻蚀作用,促进反应的进行,使硼与硅的反应充分发生。
[0006]本发明方法能制备化学纯度高,物相纯净的单相SiB6粉末。
【附图说明】
[0007 ] 图1是S1-B一■兀相图;
图2是本发明制备的SiB6粉末的XRD图。
【具体实施方式】
[0008]如图1所示,硼硅体系除了SiB6以外,还存在其它物相,反应过程容易得到其它的物相,难以获得单纯的SiB6相。
[0009]如果利用硼和硅的卤化物,气相反应合成SiB6相,反应物毒性大,反应产物的成分不易控制,容易残留硼和硅以外其它物相。单纯加热硼与硅的粉末,即使加热到较高温度,例如1650°C,也不能得到单相的六硼化硅。主要原因是硼和硅活性大,表面有氧化物,阻碍了反应的进行。本发明提出加入四氯化硅,其高温分解后产生活性大的硅提高反应形核速度和反应形核率;同时产生的氯对表面的氧化物也有刻蚀作用,促进反应的进行,使硼与硅的反应充分发生。
[0010]本发明提供一种制备六硼化硅粉末的方法,包括如下步骤:
将平均粒度1微米以下的硅粉和20微米以下的硼粉以陶瓷球磨罐球磨混合均匀;硅粉和硼粉的重量比为2.85-2.95:7。
[0011 ] 装入坩祸后,放入气体保护炉,通入氩气,升温到1400-160(TC,保温50-70分钟; 在开始保温时向炉内- ASiCl4,每分钟3-5ml,滴入时间9—11分钟;
冷却后用陶瓷罐球磨破碎得到最终SiB6粉末产品。
[0012]本发明方法能制备化学纯度高,物相纯净的单相SiB6粉末。
[0013]下面结合具体实施例对本发明作进一步阐述。
[0014]
实施例1
将平均粒度10微米以下的硅粉287克和20微米以下的硼粉700克以陶瓷球磨罐球磨混合均匀;
装入坩祸后,放入气体保护炉,通入氩气,升温到1400 °C,保温60分钟;
在开始保温时向炉内- ASiCl4,每分钟5ml,滴入时间10分钟;
冷却后用陶瓷罐球磨破碎得到最终SiB6粉末产品。
[0015]
实施例2
将平均粒度10微米以下的硅粉292克和20微米以下的硼粉700克以陶瓷球磨罐球磨混合均匀;
装入坩祸后,放入气体保护炉,通入氩气,升温到1600 °C,保温60分钟;
在开始保温时向炉内滴入SiCl4,每分钟3ml,滴入时间10分钟;
冷却后用陶瓷罐球磨破碎得到最终SiB6粉末产品。
[0016]
实施例3
将平均粒度10微米以下的硅粉290克和20微米以下的硼粉700克以陶瓷球磨罐球磨混合均匀;
装入坩祸后,放入气体保护炉,通入氩气,升温到1500 °C,保温60分钟;
在开始保温时向炉内滴入SiCl4,每分钟4ml,滴入时间10分钟;
冷却后用陶瓷罐球磨破碎得到最终SiB6粉末产品。
【主权项】
1.一种六硼化硅粉末制备方法,其特征在于包括如下步骤: 1)、将平均粒度10微米以下的硅粉和20微米以下的硼粉以陶瓷球磨罐球磨混合均匀; 2)、装入坩祸后,放入气体保护炉,通入氩气,升温到1400-1600°C,保温50—70分钟; 3)、在开始保温时向炉内-ASiCl4,每分钟3-5ml,滴入时间9—11分钟; 4)冷却后用陶瓷罐球磨破碎得到最终SiB6粉末产品。2.如权利要求1所述一种六硼化硅粉末制备方法,其特征在于步骤I)中所述硅粉和硼粉的重量比为2.85-2.95:7。
【文档编号】C01B35/02GK106082250SQ201610534386
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年7月7日
【发明人】郑贵林, 武桂燕, 林涛
【申请人】福斯曼科技(北京)有限公司
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