技术编号:5293106
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电沉积方法,特别是在熔盐体系中电沉积硅的方法,属电解和电泳。背景技术 硅具有优异的物理化学及半导体性能(熔点高,硬度大,热稳定性好,禁带宽度大),目前已广泛应用于冶金、化工、电子工业、宇宙飞船、人造卫星等方面。硅在自然界分布很广,占地壳质量的27.6%,仅次于氧。在自然界没有游离形态的硅,大都是以氧化物(SiO2)的形态存在,是制备硅的原料。目前,不论是制备工业硅、单晶硅、多晶硅,还是粉状的无定形硅,其第一步都是把石英石或硅石(主要成分为Si...
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