技术编号:5293347
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于电子工程,涉及一种微等离子体氧化处理装黄 背景技术当前电子元器件正朝着轻型化、薄型化和超小型化方向发展,提高电介质材料的室温介电常数,减小介电损失和温度系数成为科技界研究的热点。BaTi(), 是一种强介电材料,被誉为"电子工业的支柱"。但由于分子结构的原因,使 得仁偏高120°C,即在12(TC时才有最大介电常数值 10'而室温下的介电常数 仅有居里点的1/5 2000,从而大大影响了它的使用性能。目前工业上的解决 办法是在电子元器件的制造...
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