置换和吸附制造真空环境法的制作方法技术资料下载

技术编号:5420465

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本发明涉及一种真空技术,尤其是制造高真空的方法。技术背景目前制造真空的办法有喷射负压法,但这类真空度比较低;而吸附法,对 于含量在1%的惰性气体无可奈何,这样仍然只能满足要求不太高的真空。发明内容本发明的任务是提供一种成本低,无污染,真空程度高的造真空方法。 为实现上述目的,本发明采用的方案是一种制造高真空的方法,由密封容器和被清除空气组成,其特征在于采用 高纯度的低温二氧化碳充入容器内,采用溢出法首先置换出空气,然后采用强 碱进行二氧化碳吸附制造真空的办...
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