专利名称：置换和吸附制造真空环境法的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种真空技术，尤其是制造高真空的方法。
技术背景目前制造真空的办法有喷射负压法，但这类真空度比较低；而吸附法，对 于含量在1%的惰性气体无可奈何，这样仍然只能满足要求不太高的真空。发明内容本发明的任务是提供一种成本低，无污染，真空程度高的造真空方法。 为实现上述目的，本发明采用的方案是一种制造高真空的方法，由密封容器和被清除空气组成，其特征在于采用 高纯度的低温二氧化碳充入容器内，采用溢出法首先置换出空气，然后采用强 碱进行二氧化碳吸附制造真空的办法。采用上述办法，相比于目前的技术而言，真空度能制造到10 100Pa左右。
具体实施方式
具体实施中，首先采用温度低于-5摄氏度99.9%纯度的二氧化碳从容器底 部进行缓慢充入，将空气排出，然后采用刚出炉的生石灰进行吸附，这样内部 99.9%的气体就被吸附。如果需要特高要求的真空，容器内再次采用金属钾进行吸附，可以将真空 度再提高一个数量级。采用方法生产的真空，成本比同行水平节约70%成本，同时真空度也能达 到10 50Pa的优级真空水平。
权利要求
1.一种制造高真空的方法，由密封容器和被清除空气组成，其特征在于采用高纯度的低温二氧化碳充入容器内，采用溢出法首先置换出空气，然后采用强碱进行二氧化碳吸附制造真空的办法。
2. 如权利要求1所述，其特征在于采用温度低于-5摄氏度99.9%纯度的 二氧化碳从容器底部进行缓慢充入，将空气排出，然后采用刚出炉 的生石灰进行吸附。
全文摘要
本发明提供一种制造高真空的方法，由密封容器和被清除空气组成，采用高纯度的低温二氧化碳充入容器内，采用溢出法首先置换出空气，然后采用强碱进行二氧化碳吸附制造真空的办法，相比于目前的技术而言，真空度能制造到10～100Pa左右。
文档编号F04B37/14GK101260874SQ200710191658
公开日2008年9月10日 申请日期2007年12月13日 优先权日2007年12月13日
发明者叶海英, 杨贻方 申请人:苏州市南极风能源设备有限公司