技术编号：5422784
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本披露总体上涉及分配泵以及它们的使用方法。 背景技术不同的工业依赖对小体积流体进行的分配。在诸如半导体工业的工业中，在半导体器件的加工过程中对小体积的高腐蚀性的组分进行分配。在诸如制药工业的工业中，对包括多种浓缩成分的小体积溶液进行分配。附图说明通过参见附图可以更好地理解本披露，并且使其许多特征和优点对于本领域的普通技术人员变得清楚。图1包括一个示例性分配泵的截面的图示。图2包括一个示例性分配泵的俯视图的图示。图3包括一个示例性分配泵的透视图的图示。图4包...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。