技术编号：5433316
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种真空获得设备，具体涉及一种抽速为120升/秒的双级滑阀真空泵。背景技术目前，生产单晶硅的单晶炉大量使用抽速为70升/秒的双级滑阀真空泵，随着生产工艺的改进，晶棒尺寸越来越大，需要抽速为120升/秒的双级滑阀真空泵，但是现有技术的这种真空泵结构全部采用一缸半结构，振动比较大，而在单晶生产过程中，稍大的振动会导致晶棒的拉丝折断，影响产量和质量。实用新型内容本实用新型的目的是提供一种振动小、占地面积小、维护保养方便、使用寿命长的抽速为120升/...
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