专利名称：双级滑阀真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空获得设备，具体涉及一种抽速为120升/秒的双级滑阀
真空泵。
背景技术：
目前，生产单晶硅的单晶炉大量使用抽速为70升/秒的双级滑阀真空泵，随着生产工艺的改进，晶棒尺寸越来越大，需要抽速为120升/秒的双级滑阀真空泵，但是现有技术的这种真空泵结构全部采用一缸半结构，振动比较大，而在单晶生产过程中，稍大的振动会导致晶棒的拉丝折断，影响产量和质量。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种振动小、占地面积小、维护保养方便、使用寿命长的抽速为120升/秒的双级滑阀真空泵。为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为一种双级滑阀真空泵，包括泵体、油箱、电动机，泵体上设有进气口，油箱顶部设有排气口，所述泵体由固定隔板和活动隔板分成三缸，中间为一长缸，两侧各为一短缸；所述的活动隔板的两侧一长一短两缸组成高级腔，所述的高级腔与进气口相连；所述的固定隔板一侧的短缸组成低级腔，所述的低级腔与排气阀相连，所述的高级腔的排气口与所述的低级腔的进气口相连。作为本实用新型的较佳的实施例，所述的油箱内设有铝合金的油气分离器，侧面设有铝合金的油箱盖板。作为本实用新型的较佳的实施例，所述泵体内设有电动机驱动的运动组件，所述运动组件包括主轴、偏心轮、滑阀、皮带轮和导轨，主轴经皮带轮通过V带由电动机驱动旋转，所述的偏心轮旋转带动所述的滑阀、导轨周期性的摆动。作为本实用新型的较佳的实施例，所述泵体的两端设有浇铸冒气孔。本实用新型具有下述优点本实用新型泵体上设有进气口、出气口和电动机，泵体内装有由电动机驱动的运动组件，通过偏心轮控制滑阀的摆动来达到抽气的功能，具有振动小、占地面积小、维护保养方便、使用寿命长的优点。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实用新型实施例的侧向结构示意图。图2为本实用新型实施例的正向结构示意图。图例说明1、泵体；2、油箱；3、电动机；11、固定隔板；12、活动隔板；13、排气阀；14、余气阀；15、浇铸冒气孔；161、主轴；162、偏心轮；163、滑阀；164、皮带轮；165、导轨； 17、进气ロ ；21、油气分离器；22、油箱盖板；23排气ロ。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。如图I和图2所示，ー种双级滑阀真空泵，包括泵体I、油箱2、电动机3，泵体I上设有进气ロ 17，油箱2顶部设有排气ロ 23，该泵体I由固定隔板11和活动隔板12分成三缸，中间为ー长缸，两侧各为ー短缸；该的活动隔板12的两侧ー长ー短两缸组成高级腔，该的高级腔与进气ロ 17相连；该的固定隔板11 ー侧的短缸组成低级腔，该的低级腔与排气阀相连，该的高级腔的排气ロ与该的低级腔的进气ロ相连。该的油箱2内设有铝合金的油气分离器21侧面设有铝合金的油箱盖板22。该泵体I内设有电动机3驱动的运动组件，该运动组件包括主轴161、偏心轮162、 滑阀163、皮带轮164和导轨165，主轴161经皮带轮164通过V带由电动机驱动旋转，该的偏心轮162旋转带动该的滑阀163、导轨165周期性的摆动。该泵体I的两端设有浇铸冒气孔15。以上所述仅为本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅限于上述实施方式，凡是属于本实用新型原理的技术方案均属于本实用新型的保护范围。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型的原理的前提下进行的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种双级滑阀真空泵，包括泵体(1)、油箱(2)、电动机(3)，泵体(1)上设有进气口(17)，油箱(2)顶部设有排气口(23)，其特征在于，所述泵体(1)由固定隔板(11)和活动隔板(12)分成三缸,中间为一长缸，两侧各为一短缸；所述的活动隔板(12)的两侧一长一短两缸组成高级腔，所述的高级腔与进气口(17)相连；所述的固定隔板(11) 一侧的短缸组成低级腔，所述的低级腔与排气阀相连，所述的高级腔的排气口与所述的低级腔的进气口相连。
2.根据权利要求1所述的双级滑阀真空泵，其特征在于，所述的油箱(2)内设有铝合金的油气分离器(21)，侧面设有铝合金的油箱盖板(22)。
3.根据权利要求1所述的双级滑阀真空泵，其特征在于，所述泵体(1)内设有电动机(3)驱动的运动组件，所述运动组件包括主轴(161)、偏心轮(162)、滑阀(163)、皮带轮 (164)和导轨(165)，主轴(161)经皮带轮(164)通过V带由电动机驱动旋转，所述的偏心轮(162)旋转带动所述的滑阀(163)、导轨(165)周期性的摆动。
4.根据权利要求1所述的双级滑阀真空泵，其特征在于，所述泵体(1)的两端设有浇铸冒气孔(15)。
专利摘要本实用新型公开了一种双级滑阀真空泵，是采用三缸平衡结构，抽速为120升/秒的双级滑阀真空泵，双级滑阀真空泵，包括泵体、油箱、电动机，泵体上设有进气口，油箱顶部设有排气口，所述泵体由固定隔板和活动隔板分成三缸，中间为一长缸，两侧各为一短缸；所述的活动隔板的两侧一长一短两缸组成高级腔，所述的高级腔与进气口相连；所述的固定隔板一侧的短缸组成低级腔，所述的低级腔与排气阀相连，所述的高级腔的排气口与所述的低级腔的进气口相连。而且本实用新型的油气分离器和油箱盖板采用铝合金材料，使泵在维护保养过程中拆装轻便。本实用新型具有振动小、占地面积小、维护保养方便、使用寿命长的优点。
文档编号F04C25/02GK202348672SQ201120465970
公开日2012年7月25日 申请日期2011年11月22日 优先权日2011年11月22日
发明者汪学鋆, 王国民 申请人:台州力鑫真空设备有限公司