技术编号：5436131
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请主张基于2011年4月5日申请的日本专利申请第2011-083629号的优先权。其申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。本发明涉及一种用于低温泵的盖结构、低温泵、低温泵的启动方法及低温泵的保管方法。背景技术低温泵为通过凝缩或吸附将气体分子捕捉于冷却成超低温的低温板来排气的真空泵。低温泵普遍为了实现半导体电路制造工艺等所要求的清洁的真空环境而利用。为了吸附气体，在低温板上粘着有活性碳。 专利文献I 日本特开平2-308985号公报在不使用低温泵时，例...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。